成熟的供應鏈以及設計和制造基礎設施，結合成功的商業(yè)化背景和更廣闊的市場需求，為MEMS領域的初創(chuàng)公司提供了一個充滿活力的發(fā)展環(huán)境。

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem，微機電系統(tǒng)）這個首字母縮略詞，自1987年誕生以來已經(jīng)陪伴了我們30多年。實際上我們從1960年代就已經(jīng)開始在硅晶圓上開發(fā)、制造并出貨這類器件。事實上，MEMS這個細分領域最早是由RichardFeynman在其1959年發(fā)表的開創(chuàng)性論文“There’sPlentyofRoomattheBottom”中提出的。

第一批MEMS產(chǎn)品主要是壓阻式壓力傳感器和應變傳感器，主要用于航空航天和工業(yè)應用。不過，多年來這些市場規(guī)模仍然不大。如今，從納米尺度的原子力顯微鏡尖端，到具有數(shù)百萬個可運動反射鏡的數(shù)字投影芯片，市場上出現(xiàn)了一大批令人眼花繚亂的MEMS器件。MEMS已經(jīng)廣泛應用于噴墨打印機噴嘴、醫(yī)療診斷微流控器件，以及我們常用的移動設備中的MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、振蕩器和FBAR濾波器等。

現(xiàn)在，全球每年生產(chǎn)數(shù)十億顆MEMS器件，每年的市場規(guī)模超過200億美元。令人難以置信的是，這種爆發(fā)性增長主要集中在過去的十來年內(nèi)。

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，受向5G過渡的復雜性和更多的頻帶要求，4G/5G對射頻（RF）濾波器的需求持續(xù)增長，使得RFMEMS（BAW濾波器）成為增長速度最快的MEMS細分市場。該領域市場規(guī)模預計將從2017年的23億美元快速增長至2023年的150億美元。不算RF器件，2018~2023年期間MEMS市場的復合年增長率預計為9%，而算上RF市場，這一數(shù)字將達到17.5%。

早年，我們曾經(jīng)覺得做MEMS挺悲催的，因為幾乎無法說服當時的集成電路代工廠為我們提供制造服務。他們對于我們的需求，總是冷眼相待。現(xiàn)在大不相同了，幾乎每家代工廠和組裝廠都建立了MEMS產(chǎn)線，因此現(xiàn)在的MEMS創(chuàng)業(yè)公司擁有了強大的代工基礎。

實際上，每個擁有工程專業(yè)的大學都在研究和開發(fā)新的MEMS結構、制造工藝和應用。他們的研究包括利用MEMS和視網(wǎng)膜植入物制造的微型機器人，有可能讓盲人重見光明。

MEMS視網(wǎng)膜植入物原型

此外，還有許多潛在的創(chuàng)新產(chǎn)品尚未大規(guī)模商業(yè)化，例如MEMS揚聲器、GHz范圍內(nèi)的可調諧電子濾波器、可變天線調諧器、MEMS開關、空氣微粒MEMS傳感器、攝像頭應用的MEMS自動聚焦和變焦執(zhí)行器、MEMS激光雷達以及物聯(lián)網(wǎng)應用的能量收集芯片等。

健康/健身和物聯(lián)網(wǎng)應用，為新型MEMS傳感器和執(zhí)行器提供了巨大的市場機遇，包括車輛監(jiān)控、建筑結構和空間占用監(jiān)測，以及農(nóng)業(yè)和畜牧監(jiān)測等。

全球知名MEMS初創(chuàng)企業(yè)

作為一名創(chuàng)業(yè)導師和天使投資人，我?guī)缀趺刻於紩吹叫路f的創(chuàng)新概念。例如，ZephyrusBiosciences公司擁有單細胞蛋白質測試的微流控技術，并于2016年被Bio-Techne公司收購。Chirp為移動設備設計開發(fā)了一種低成本MEMS超聲波傳感芯片，也已在2018年并被TDK收購。

在眾多值得關注的私營公司中，NextInput擁有一種力傳感技術，可以改變按鈕的實現(xiàn)方式。IMT和MenloMicrosystems可能最終已經(jīng)克服了50年來構建高可靠MEMS歐姆開關的難題。

我鼓勵所有的MEMS研究人員和開發(fā)人員繼續(xù)致力于培育和創(chuàng)造這個有趣而又令人興奮和驚嘆的新興行業(yè)。