MEMS加速度計的三種類型簡介
隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,慣性傳感器目前是最為成功應(yīng)用最廣泛的微機(jī)電系統(tǒng)器件之一。而MEMS加速度計就是慣性傳感器件的杰出代表。MEMS加速度計的理論基礎(chǔ)就是牛頓第二定律根據(jù)基本的物理原理,在一個系統(tǒng)內(nèi)部速度是無法測量的但卻可以測量其加速度。
智騰mems加速度計
MEMS加速度計按技術(shù)成熟可分為三種形式:壓電式、容感式、熱感式。
1、壓電式MEMS加速度計運(yùn)用的是壓電效應(yīng),在其內(nèi)部有一個剛體支撐的質(zhì)量塊,有運(yùn)動的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力,剛體產(chǎn)生應(yīng)變,把加速度轉(zhuǎn)變成電信號輸出。
2、容感式MEMS加速度計內(nèi)部也存在一個質(zhì)量塊,從單個單元來看,它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積,通過測量電容變化量來計算加速度。
3、熱感式MEMS加速度計內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊,它的中央有一個加熱體,周邊是溫度傳感器,里面是密閉的氣腔,工作時在加熱體的作用下,氣體在內(nèi)部形成一個熱氣團(tuán),熱氣團(tuán)的比重和周圍的冷氣是有差異的,通過慣性熱氣團(tuán)的移動形成的熱場變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。
由于壓電式MEMS加速度計內(nèi)部有剛體支撐的存在,通常情況下,壓電式MEMS加速度計只能感應(yīng)到“動態(tài)”加速度,而不能感應(yīng)到“靜態(tài)”加速度,也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)“動態(tài)”加速度,又能感應(yīng)“靜態(tài)”加速度。
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