Mems電容式加速度計(jì)的種類(lèi)

隨著科技發(fā)展加速度計(jì)從原來(lái)大的尺寸逐漸往小型化發(fā)展可以應(yīng)用在各行各業(yè)并且在性能上更上一層樓，給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度計(jì)分為六大類(lèi)：電容式加速度計(jì)；壓阻式加速度計(jì)；壓電式加速度計(jì)；諧振式加速度計(jì)；隧穿式加速度計(jì)；熱對(duì)流式加速度計(jì)。

其中電容式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)可分為三種結(jié)構(gòu)：

1、蹺板擺式加速度計(jì)

2、梳齒式硅微機(jī)械加速度計(jì)

3、三明治擺式電容式加速度計(jì)

其中三明治擺式電容加速度計(jì)又稱(chēng)為懸臂梁式硅微機(jī)械加速度計(jì)是一種夾層結(jié)構(gòu)的微機(jī)械加速度計(jì)，因?yàn)闃O板被夾在固定極板中間形似三明治結(jié)構(gòu)而得名。

該結(jié)構(gòu)相對(duì)比較簡(jiǎn)單，電容式動(dòng)極板由中間的敏感質(zhì)量硅擺片的上下倆面電鍍的方法制成與相對(duì)應(yīng)的固定極板組成一組差動(dòng)電容來(lái)敏感輸入加速度的大小。當(dāng)質(zhì)量塊手受到加速度上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，電容間距隨之變化差動(dòng)電容大小發(fā)生改變，理論推導(dǎo)可知差動(dòng)電容大小和加速度在質(zhì)量塊位移較小的情況下形成差不多線(xiàn)性比例關(guān)系。

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