隨著科技發(fā)展加速度計從原來大的尺寸逐漸往小型化發(fā)展可以應(yīng)用在各行各業(yè)并且在性能上更上一層樓,給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。
Mems的加速度計分為六大類:電容式加速度計;壓阻式加速度計;壓電式加速度計;諧振式加速度計;隧穿式加速度計;熱對流式加速度計。
其中電容式加速度計的結(jié)構(gòu)可分為三種結(jié)構(gòu):
1、蹺板擺式加速度計
2、梳齒式硅微機械加速度計
3、三明治擺式電容式加速度計
蹺板擺式電容式加速度計又稱扭擺式硅微加速度計因為其敏感質(zhì)量繞著彈性梁扭轉(zhuǎn)形似蹺板而得名。其典型代表是美國一家實驗室與1990年研制的微機械加速度計其敏感質(zhì)量與下面的玻璃基片之間形成差動檢測電容,由于質(zhì)量片分別位于承扭梁倆邊的質(zhì)量和慣性矩不相等,所以當存在垂直于質(zhì)量片的加速度計輸入時質(zhì)量片將繞著支撐梁旋轉(zhuǎn)從而使相對應(yīng)的一對差電容一個增大一個見小,測量差動電容值可得到沿著敏感軸輸入的加速度。
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