MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是個(gè)好年景,且這種增長(zhǎng)趨勢(shì)會(huì)持續(xù)下去。預(yù)測(cè)所有固態(tài)傳感器和執(zhí)行器市場(chǎng)將實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁增長(zhǎng),到2023年達(dá)到千億美元級(jí),出貨量達(dá)1850億顆。光學(xué)傳感器,特別是CMOS圖像傳感器,將占據(jù)該領(lǐng)域近40%的市場(chǎng)份額。MEMS也將在這一增長(zhǎng)中發(fā)揮重要作用:在2018~2023年期間,MEMS市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)率為17.5%,出貨量增長(zhǎng)率為26.7%,其中消費(fèi)領(lǐng)域占比超過(guò)50%。
2017~2023年MEMS市場(chǎng)(按應(yīng)用領(lǐng)域細(xì)分)來(lái)源:《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀-2018版》
傳感器的演變歷程最初開(kāi)發(fā)的傳感器主要用于物理量的探測(cè):如沖擊、壓力,后來(lái)用于測(cè)量加速度和旋轉(zhuǎn)。隨著研發(fā)投入增加,MEMS從對(duì)物理量的探測(cè)擴(kuò)展到對(duì)光的感應(yīng)和操控(如MEMS微鏡),再進(jìn)一步擴(kuò)展到非制冷紅外傳感器(如微輻射熱計(jì))。從對(duì)光的感應(yīng)到對(duì)聲音的感應(yīng),MEMS麥克風(fēng)掀起了下一波MEMS浪潮。MEMS和傳感器正在進(jìn)入令人興奮的全新演變階段,因?yàn)樗鼈兂搅巳祟?lèi)感官,向超聲波、紅外和高光譜傳感方向發(fā)展。
當(dāng)我們的身體或情緒感知在某種程度上受到限制時(shí),傳感器卻能彌補(bǔ)我們的不足。超越人耳的MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)用于聽(tīng)障人士。亞利桑那州立大學(xué)的研究人員正在開(kāi)發(fā)人工耳蝸植入物——壓電MEMS傳感器,有朝一日可能會(huì)使那些聽(tīng)力受損嚴(yán)重的人士恢復(fù)聽(tīng)力。lw
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