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隨著科技的發(fā)展人們社會中的各類智能機(jī)器也越來越多，這里對機(jī)器人的運(yùn)動簡單介紹。
機(jī)器人運(yùn)動主要靠三軸傾角傳感器進(jìn)行的運(yùn)動狀態(tài)、姿態(tài)控制中起到非常關(guān)鍵的作用，MEMS加速度計(jì)作為重要的傾角檢測器件，因?yàn)橛兄w積小、重量輕、功能小、成本低、可靠性高易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字化和智能化，逐漸取代傳統(tǒng)姿態(tài)測量器件陀螺應(yīng)用于微型機(jī)器人。
電容式微加速度計(jì)是最常見的，也有成熟推廣的產(chǎn)品。其基本原理就是將電容作為檢測接口，來檢測由于慣性力作用導(dǎo)致慣性質(zhì)量塊發(fā)生的微位移。質(zhì)量塊由彈性微梁支撐連接在基體上，檢測電容的一個極板一般配置在運(yùn)動的質(zhì)量塊上，一個極板配置在固定的基體上。圖2所示為典型的三明治結(jié)構(gòu)的平板電容式微加速度計(jì)。還有AD?公司開發(fā)的電容式微加速度計(jì)采用梳齒陣列電容作為檢測接口。電容式微加速度計(jì)的靈敏度和測量精度高、穩(wěn)定性好、溫度漂移小、功耗極低，而且過載保護(hù)能力較強(qiáng)；能夠利用靜電力實(shí)現(xiàn)反饋閉環(huán)控制，顯著提高傳感器的性能，因?yàn)橛兄`敏性常被用于運(yùn)動機(jī)器人人的動態(tài)、姿態(tài)控制。
| 參數(shù) ?| ?型號 | 單位 | SiA202 | SiA205 | SiA210 | SiA215 | SiA220 | SiA230 | SiA250 |
| 量程 | g | ±2 | ±5 | ±10 | ±15 | ±20 | ±30 | ±50 |
| 偏值 | mg | 0.14 | 0.35 | 0.7 | 1.05 | 1.4 | 2.1 | 3.5 |
| 偏值穩(wěn)定性 | mg | 0.24 | 0.6 | 1.2 | 1.8 | 2.4 | 3.6 | 6 |
| 偏值重復(fù)性 | μg | 3 | 7.5 | 15 | 22.5 | 30 | 45 | 75 |
| 標(biāo)度因數(shù) | mV/g | 1350 | 540 | 270 | 180 | 135 | 90 | 54 |
| 標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性 | ppm | 120 | ||||||
| 失準(zhǔn)角 | mrad | 10 | ||||||
| 閾值（1Hz） | μg rms | 7 | 17 | 34 | 51 | 68 | 102 | 170 |
| 非線性（IEEE ） | % FS | 0.3 | ||||||
| 工作溫度 | ℃ | -40～125 | ||||||
| 功耗 | mW | 10 | ||||||
| 尺寸 | mm2 | 9×9 |
這是一款高精度mems加速度計(jì)芯片的性能指標(biāo)參數(shù)。lw
工商網(wǎng)監(jiān)
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