MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。其中MEMS加速度傳感器被現(xiàn)在廣泛應(yīng)用在各個有著需要運動的領(lǐng)域中。

因為一個國家的航天發(fā)展程度反映著該國的科技的整體水平，所以隨著航天科技的飛速發(fā)展傳感器的小型化、多功能、機動性、高性能的也隨之提高，所以人們對傳感器在航天領(lǐng)域的要求更為苛刻和重要例如航天慣性傳感器在體積、重量、性能方面的要求很高。在這中情況下MEMS加速度計隨之研發(fā)出來，因為小型化、高性能、高可靠性、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性被應(yīng)用在航天、軍事等重要領(lǐng)域。

那么MEMS電容式加速度計的工作原理是什么呢？

MEMS電容式加速度計具有高精度、低溫度敏感系數(shù)、低功耗、寬動態(tài)范圍、微機械結(jié)構(gòu)優(yōu)等優(yōu)點成為目前國內(nèi)外研究的熱點。因為有著很好的直流響應(yīng)、較好的信噪比、負(fù)載阻抗高、受磁場干擾小、易自檢、高靈敏度、低溫漂等在低頻響方面可以響應(yīng)靜態(tài)或者直流加速度，因為被廣泛應(yīng)用。

其基工作原理就是將電容作為檢測接口，來檢測由于慣性力作用導(dǎo)致慣性質(zhì)量塊發(fā)生的微位移。質(zhì)量塊由彈性微梁支撐連接在基體上，檢測電容的一個極板一般配置在運動的質(zhì)量塊上一個極板配置在固定的基體上，能夠利用靜電力實現(xiàn)反饋閉環(huán)控制，顯著提高傳感器的性能。

fqj