MEMS加速度計中的核心簡介

隨著硅微機械加工技術(shù)(MEMS)的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應(yīng)運而生,目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用的就有壓力傳感器、加速度傳感器、光開關(guān)等等,它們有著體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高等特點，而且因為其加工工藝一定程度上與傳統(tǒng)的集成電路工藝兼容，易于實現(xiàn)數(shù)字化、智能化以及批量生產(chǎn)，因而從問世起就引起了廣泛關(guān)注,并且在汽車、醫(yī)藥、導(dǎo)航和控制、生化分析、工業(yè)檢測等方面得到了較為迅速的應(yīng)用。其中加速度傳感器就是廣泛應(yīng)用的例子之一。

加速度傳感器的原理隨其應(yīng)用而不同，有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式等。

不管怎么樣加速度傳感器就是需要在線性運動情況下得到的加速度力并通過內(nèi)部的核心的原理來得出不同的數(shù)值在通過解算得出想要的數(shù)據(jù)。

一般的加速度計是一個方向運動得出的單軸加速度計數(shù)據(jù)并通過電容式工作原理得出的差壓值換算得出相對應(yīng)的加速度數(shù)據(jù)，雙軸、三軸、同樣如此（X\Y\Z）三個立體坐標(biāo)方向根據(jù)載體不同方向的運動 得出X Y Z三個不同坐標(biāo)系加速度值。并通過微電路解算出應(yīng)得的數(shù)據(jù)信息得出結(jié)果。

所以mems加速度計的核心就是 微機械工藝和不通過結(jié)構(gòu)模式的出的數(shù)值來確定是否在精度和穩(wěn)定性符合客戶所要的指標(biāo)。

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