以P11型號(hào)為例，簡介壓電位移臺(tái)。

P11系列壓電位移臺(tái)包含多種型號(hào)，1至3維運(yùn)動(dòng)版本可選，行程由100μm至300μm可選。從外觀上，P11系列具有兩種外形，兩種外形的長寬相同，都為40×40mm，只因行程大小不同或維度不同，相應(yīng)的外形的高度有所差別，分22mm和36.5mm兩種。

P11系列壓電位移臺(tái)的單軸運(yùn)動(dòng)版本，行程可高達(dá)300μm，二維或三維版本標(biāo)準(zhǔn)行程為100μm/軸。它是采用機(jī)構(gòu)放大的原理，將內(nèi)部壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)源產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出，位移放大后，承載能力相應(yīng)減小，但P11三維版本的承載能力仍可達(dá)600g。

開/閉環(huán)版本

P11系列壓電位移臺(tái)也分為開環(huán)與閉環(huán)版本，相比之下，閉環(huán)版本內(nèi)部增配了閉環(huán)傳感器，用于檢測位移臺(tái)本身實(shí)際產(chǎn)生的位移量。從位移臺(tái)的引線連接器上可區(qū)分出開閉環(huán)。例如，對于標(biāo)準(zhǔn)的壓電位移臺(tái)，一般配備的是LEMO連接器，若位移臺(tái)的連接器具有兩種，如下圖所示，具有單芯和四芯兩種LEMO連接器，那么該壓電位移臺(tái)為閉環(huán)版本，若只有一種單芯LEMO連接器，則為開環(huán)版本。

此外，也可以根據(jù)單芯LEMO連接器的數(shù)量判斷壓電位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)維度，1個(gè)為1個(gè)維度運(yùn)動(dòng)，2個(gè)為2個(gè)運(yùn)動(dòng)維度，依次類推。

以上該方法僅適用于LEMO連接器形式壓電位移臺(tái)開閉環(huán)的辨別方法。

安裝固定

為了便于負(fù)載的機(jī)械連接，在P11的運(yùn)動(dòng)臺(tái)面上設(shè)計(jì)有四個(gè)M3螺紋孔，為使用者提供固定接口。

另外，在P11系列壓電位移臺(tái)的四個(gè)邊角，有四個(gè)?2.7mm的通孔，用于壓電位移臺(tái)的固定。

在安裝使用中，務(wù)必保證壓電位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)面與非運(yùn)動(dòng)基座間的間隙清潔，且不可在此間隙間放置任何阻礙位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)的薄片、膠液等，這些會(huì)導(dǎo)致壓電位移臺(tái)的位移量減少或不輸出。

應(yīng)用

壓電位移臺(tái)的特點(diǎn)是納米級(jí)高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等，因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，如顯微成像、激光加工（晶圓切割）、微納車削加工、圖像分辨率增強(qiáng)、光學(xué)檢測移相器等快速微納致動(dòng)應(yīng)用。lw