通常情況下塵埃粒子是指以區(qū)分空氣潔凈程度等級為目的的，且粒徑限值在0.1微米至5.0微米范圍內(nèi)的液體或固體。而粉塵（dust）是指懸浮在空氣中的固體微粒，習(xí)慣上對粉塵有許多名稱,如灰塵、塵埃、煙塵、礦塵、砂塵、粉末等,這些名詞沒有明顯的界限。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織規(guī)定,粒徑小于75μm的固體懸浮物定義為粉塵。常見的污染顆粒還有病毒、細(xì)菌、微生物等，具體的種類與大小分布如下：

無塵室是應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板等相關(guān)制造工藝的一種受控環(huán)境，它對環(huán)境中的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、風(fēng)速、照度等均有一定的要求，因此潔凈度管控對無塵室性能的影響至關(guān)重要。若要控制好潔凈室的潔凈度，找到影響無塵室內(nèi)潔凈度的因素非常關(guān)鍵。根據(jù)許多行業(yè)人士的細(xì)心分析，總結(jié)了下面一些影響因素：

建筑物表面會因?yàn)楸砻娌牧侠砘匦浴⑹覂?nèi)環(huán)境影響、施工品質(zhì)、表面污染難以清潔、塵埃粒子表面沉積等原因出現(xiàn)發(fā)塵問題。

空調(diào)系統(tǒng)一般有外循環(huán)系統(tǒng)和內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)，無論哪種系統(tǒng)，都靠精密過濾器對空氣質(zhì)量進(jìn)行保障，一旦過濾器出現(xiàn)泄漏或過濾效果不佳，都會增加污染環(huán)境的風(fēng)險(xiǎn)。

人是無塵室中最大的污染源。一個(gè)人通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，每分鐘脫落約1000片皮膚。人類的頭發(fā)一直在脫落，人類吐出的口水包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。人類的日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。人吸煙也會產(chǎn)生大量的Particle。

工廠的來料本身存在發(fā)塵現(xiàn)場、一些污跡的物品進(jìn)入FAB前未進(jìn)行清潔、一些難以搬運(yùn)的設(shè)備在使用機(jī)械運(yùn)輸過程中等都會造成發(fā)塵的問題。

機(jī)臺長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，設(shè)備硬件之間會發(fā)生不同程度的摩擦，進(jìn)而產(chǎn)生一些碎屑污染環(huán)境。因此設(shè)備需要定期進(jìn)行保養(yǎng)清潔。

在了解了發(fā)塵因素以后對無塵室管控就有了一定的方向，建議使用者可根據(jù)如下一下方面對自己的無塵環(huán)境進(jìn)行綜合有效的管理：

高效過濾器及FRAME不能有泄漏；

室內(nèi)必須維持設(shè)計(jì)之壓力；

作業(yè)人員必須更衣，經(jīng)過風(fēng)淋室后進(jìn)入無塵室；

所有設(shè)備、工具、材料等必須清洗干凈后才能帶入無塵室；

1.?必須穿無塵衣；

2.?不可使用容易發(fā)塵的材料；

3.?減少不必要的動(dòng)作；

4.?沒有必要的物品，不允許帶入；

1.?避免難以清掃清潔的角落存在；

2.?盡量減少風(fēng)管、水管在無塵室內(nèi)裸露；

3.?必須按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序及規(guī)定時(shí)間進(jìn)行清潔；

1.?增加換氣次數(shù)；

2.?在發(fā)塵源處增加排氣；

3.?改善氣流形狀避免Particle附著于產(chǎn)品上；

4.?施工中產(chǎn)生的廢材廢料必須及時(shí)進(jìn)行清潔處理
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