《漲知識啦10-邊緣終端》---p型保護環(huán)

本周《漲知識啦》給大家?guī)淼氖沁吘壗K端系列內(nèi)容的第三講，在上一講中提到過，當器件中形成平面結(jié)時，邊緣位置過強的局部電場容易導致器件提前擊穿，為此采用場板結(jié)構(gòu)來改善器件邊緣電場。除此之外，還有一種結(jié)構(gòu)同樣可以高效地實現(xiàn)對邊緣電場的改善，提高器件的擊穿電壓，即‘p型保護環(huán)’（如下圖）。

P型保護環(huán)也被稱為浮空場環(huán)，不與任何電極相連，主要利用pn結(jié)在平衡態(tài)下形成的耗盡區(qū)，當場環(huán)形成的耗盡區(qū)與主結(jié)形成的耗盡區(qū)相連后，便拓寬了主結(jié)邊緣位置的耗盡區(qū)寬度，從而降低了主結(jié)邊緣電場。該結(jié)構(gòu)雖降低了主結(jié)邊緣電場，在一定程度上避免了主結(jié)的擊穿，但如果場環(huán)的參數(shù)選取不合理，在場環(huán)形成的耗盡區(qū)仍然有可能發(fā)生擊穿，因此就需選用多級場環(huán)的結(jié)構(gòu)（如下圖），通過調(diào)整場環(huán)窗口的寬度以及場環(huán)間間距，逐步消耗表面電場，從而避免器件提前擊穿。且該結(jié)構(gòu)只需在掩膜上設計出場環(huán)的窗口，在擴散主結(jié)的同時便可形成場環(huán)，不必增加工藝步驟，流程簡單，易于實現(xiàn)。

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