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該文介紹了一種用半導(dǎo)體激光器構(gòu)建微型邁克爾遜干涉儀的方法。這種方法能應(yīng)用于微振動(dòng)的精確測量。實(shí)驗(yàn)證明,用這種方法構(gòu)建的微振動(dòng)傳感器體積小、質(zhì)量輕、價(jià)格便宜,并且具有很高的靈敏度和準(zhǔn)確度。
關(guān)鍵詞 邁克爾遜干涉儀,振動(dòng)傳感器,微振動(dòng)測量
振動(dòng)測量
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