資料介紹
設(shè)計(jì)和操作
激光干涉測(cè)振儀SP-S系列,是對(duì)物體位置或表面位置的瞬時(shí)變化進(jìn)行精密、非接觸測(cè)量的理想儀器,允許測(cè)量機(jī)械振動(dòng)的頻率范圍為0-500kHz。
該儀器是在SP系列微型平面鏡干涉儀的成熟概念基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出來(lái)的。SP-S系列干涉儀的傳感測(cè)頭裝備有輔助光學(xué)元件,可以對(duì)任意粗糙度的表面進(jìn)行測(cè)量。
整套系統(tǒng)包括裝有激光器且模塊化設(shè)計(jì)的電子單元、微型化設(shè)計(jì)的傳感測(cè)頭以及各種接口。
光纖耦合的干涉儀將沿光軸的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為干涉條紋,并傳入其快速、高分辨率的解碼電路進(jìn)行處理。操作及結(jié)果顯示通過(guò)PC上運(yùn)行的特殊數(shù)據(jù)處理軟件來(lái)得以實(shí)現(xiàn)。
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