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本文在闡述加速度計發(fā)展、應(yīng)用以及基本工作原理的基礎(chǔ)上，分析了幾種光
學(xué)加速度計方案，并對其基本結(jié)構(gòu)及工作原理做了較為詳細的介紹，對每種方案
的優(yōu)缺點進行了簡單的描述。最終選取基于撓變反射鏡的光學(xué)加速度計作為本文
研究的重點。對光學(xué)加速度計相關(guān)理論，包括激光拍頻檢測原理、激光穩(wěn)頻技術(shù)
等有較為詳細的敘述。著重對光學(xué)加速度計撓變反射鏡進行了初步設(shè)計、理論分
析、仿真分析和初步實驗研究，初步得到了該光學(xué)加速度計的測量量程、靈敏度
等參數(shù)。并對其改進結(jié)構(gòu)進季亍了有限元ANSYS仿真分析。通過理論分析，得到了
撓變反射鏡彈性敏感元件結(jié)構(gòu)參數(shù)對其靈敏度及固有頻率的影響程度；通過結(jié)構(gòu)
靜態(tài)分析及模態(tài)分析，得到了彈性敏感元件結(jié)構(gòu)參數(shù)與位移變化量之間的關(guān)系式。
本文對光學(xué)加速度計的進一步研究有～定的指導(dǎo)意義。
關(guān)
學(xué)加速度計方案，并對其基本結(jié)構(gòu)及工作原理做了較為詳細的介紹，對每種方案
的優(yōu)缺點進行了簡單的描述。最終選取基于撓變反射鏡的光學(xué)加速度計作為本文
研究的重點。對光學(xué)加速度計相關(guān)理論，包括激光拍頻檢測原理、激光穩(wěn)頻技術(shù)
等有較為詳細的敘述。著重對光學(xué)加速度計撓變反射鏡進行了初步設(shè)計、理論分
析、仿真分析和初步實驗研究，初步得到了該光學(xué)加速度計的測量量程、靈敏度
等參數(shù)。并對其改進結(jié)構(gòu)進季亍了有限元ANSYS仿真分析。通過理論分析，得到了
撓變反射鏡彈性敏感元件結(jié)構(gòu)參數(shù)對其靈敏度及固有頻率的影響程度；通過結(jié)構(gòu)
靜態(tài)分析及模態(tài)分析，得到了彈性敏感元件結(jié)構(gòu)參數(shù)與位移變化量之間的關(guān)系式。
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加速度計
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