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標(biāo)簽 > 光刻技術(shù)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個(gè)數(shù)量級(jí)(從毫米級(jí)到亞微米級(jí)),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線(xiàn)、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長(zhǎng)已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級(jí)范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
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黃仁勛稱(chēng),英偉達(dá)經(jīng)過(guò)與臺(tái)積電、ASML、Synopsys(新思科技)三大半導(dǎo)體巨頭的多年合作,終于推出了這一技術(shù),大大降低芯片代工廠(chǎng)在這一工序上所消耗的...
美國(guó)宣布將六項(xiàng)新興技術(shù)添加到《出口管理?xiàng)l例》
美國(guó)實(shí)施出口管制的六大技術(shù),都與芯片制造中最重要的設(shè)備光刻機(jī)息息相關(guān),尤其是當(dāng)下5nm芯片已成為高端芯片時(shí)代的主流產(chǎn)品,EUV光刻機(jī)在半導(dǎo)體制程的重要意...
超精細(xì)石墨烯圖案的雙光束超快激光直寫(xiě)制作技術(shù)
最近,基于超分辨率熒光顯微技術(shù)這一諾貝爾獎(jiǎng)級(jí)成果,科學(xué)家報(bào)道了一種應(yīng)用于光刻膠的雙光束激光光刻技術(shù)。這里使用一道甜甜圈形狀的環(huán)形光束,來(lái)抑制寫(xiě)入光束所觸...
光刻測(cè)量技術(shù)與感應(yīng)式測(cè)量技術(shù)解析
絕對(duì)測(cè)量法是指編碼器通電時(shí)就立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。絕對(duì)位置信息來(lái)自一系列絕對(duì)碼構(gòu)成的光柵刻線(xiàn)。單...
2020-03-18 標(biāo)簽:測(cè)量技術(shù)光刻技術(shù) 2.8k 0
早報(bào):三星有望獲得蘋(píng)果M1芯片部分代工訂單 因臺(tái)積電5nm工藝產(chǎn)能緊張
但外媒最新的報(bào)道顯示,5nm工藝已大規(guī)模量產(chǎn)的臺(tái)積電,目前的產(chǎn)能無(wú)法滿(mǎn)足再為蘋(píng)果大規(guī)模代工M1芯片,蘋(píng)果可能會(huì)將部分M1芯片的代工訂單,交由臺(tái)積電的競(jìng)爭(zhēng)...
微工程研究所的研究人員采用了新型納米結(jié)構(gòu)化技術(shù),稱(chēng)為熱掃描探針光刻(thermal scanning probe lithography,t-SPL)技...
中芯國(guó)際已根據(jù)香港上市規(guī)則披露了與ASML的批量購(gòu)買(mǎi)協(xié)議
對(duì)此,ASML發(fā)布公告澄清。公告提到,中芯國(guó)際已根據(jù)香港上市規(guī)則披露了與ASML的批量購(gòu)買(mǎi)協(xié)議(VPA)。這與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān),該協(xié)議已于2...
韓國(guó)EUV光刻技術(shù)方面取得極大進(jìn)展 專(zhuān)利申請(qǐng)是國(guó)外的兩倍以上
IT之家 11 月 16 日消息 據(jù)韓國(guó)媒體 BusinessKorea 上周報(bào)道,韓國(guó)本土企業(yè)在 EUV 光刻技術(shù)方面取得了極大進(jìn)展。但并沒(méi)有提到是哪...
日本大學(xué)研發(fā)出新極紫外(EUV)光刻技術(shù)
近日,日本沖繩科學(xué)技術(shù)大學(xué)院大學(xué)(OIST)發(fā)布了一項(xiàng)重大研究報(bào)告,宣布該校成功研發(fā)出一種突破性的極紫外(EUV)光刻技術(shù)。這一創(chuàng)新技術(shù)超越了當(dāng)前半導(dǎo)體...
在整個(gè)芯片制造過(guò)程中,幾乎每一道工序的實(shí)施都離不開(kāi)光刻技術(shù)。光刻技術(shù)也是制造芯片最關(guān)鍵的技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
可能很多網(wǎng)友看到這里有點(diǎn)蒙圈,這繞來(lái)繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進(jìn)行一個(gè)小科普,EUV和DUV到底有啥區(qū)別呢?EUV也就是“極深紫外線(xiàn)”的意思,...
芯聞精選:松下將改組為控股公司制,下設(shè)車(chē)載電池等8家業(yè)務(wù)公司
松下控股下設(shè)車(chē)載電池、電子零部件、汽車(chē)零部件等 8 家業(yè)務(wù)公司。外媒表示,這樣能夠明確責(zé)任和權(quán)限,加快公司決策。松下還公布了新的人事任命,常務(wù)執(zhí)行董事楠...
新光刻技術(shù)將會(huì)對(duì)納米芯片的發(fā)展產(chǎn)生重大影響
該行業(yè)正在不斷刷新納米芯片的記錄,這無(wú)疑將為我們帶來(lái)更多的未來(lái)計(jì)算可能性。為此,來(lái)自世界各地的研究人員正在不斷努力。
中國(guó)科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國(guó)家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對(duì)先進(jìn)光刻技術(shù)的理解,本學(xué)期集成電路學(xué)院開(kāi)設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...
但imec先進(jìn)成像、工藝和材料高級(jí)副總裁斯蒂芬·希爾(Steven Scheer)在接受采訪(fǎng)時(shí)非常理性地指出,要經(jīng)濟(jì)高效地引入High NA EUV光刻...
韓國(guó)公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國(guó)公司的差距
特別是,韓國(guó)公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國(guó)公司的差距。2019年,韓國(guó)本土提出的專(zhuān)利申請(qǐng)數(shù)量為40件,超過(guò)了國(guó)外企業(yè)的10件。這是韓國(guó)提交的...
NVIDIA H100 GPU為2nm芯片加速計(jì)算光刻!
現(xiàn)代工藝技術(shù)將晶圓廠(chǎng)設(shè)備要求推向極限,需要實(shí)現(xiàn)突破其物理極限的高分辨率,這正是計(jì)算光刻技術(shù)發(fā)揮作用的地方。計(jì)算光刻就是為芯片生產(chǎn)制作光掩模的技術(shù),它結(jié)合...
正式獲得美國(guó)設(shè)備廠(chǎng)商的供應(yīng)許可后,中芯國(guó)際的運(yùn)營(yíng)前景將進(jìn)一步明朗
去年中芯國(guó)際被美國(guó)列入了實(shí)體清單,購(gòu)買(mǎi)美國(guó)廠(chǎng)商的半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)受到限制。今天業(yè)界消息稱(chēng)中芯國(guó)際已經(jīng)獲得了美國(guó)的許可,14nm及28nm等工藝可以恢復(fù)供應(yīng)。
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