長鑫存儲技術(shù)有限公司申請了“半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的評估方法及裝置”的專利。申請公告日為9月8日，申請公告號為cn113673812b。

根據(jù)專利摘要，本申請?zhí)峁┤缦略u價半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法及裝置：評價半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法是：提供1個半導(dǎo)體設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備至少包括1個制造單元。半導(dǎo)體設(shè)備獲得按順序生產(chǎn)多個晶圓的生產(chǎn)參數(shù)，并根據(jù)生產(chǎn)參數(shù)決定連續(xù)批次生產(chǎn)結(jié)束時間之間的時間間隔。每片配置的每片晶圓獲得進(jìn)入每片生產(chǎn)單位的時間，每片配置的所有晶片決定每片生產(chǎn)單位的時間。為了測定半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率，測定存在時間和存在時間之間的比率。

即，迅速找出瓶頸單元，并將限制設(shè)備生產(chǎn)效率的單元和其他單元能夠提高的范圍一眼就能反映出來。