據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，12月28日，位于廣州的增芯科技MEMS量產(chǎn)線項(xiàng)目舉行首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式，本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)。

增芯12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線新建項(xiàng)目，一期總投資70億元，項(xiàng)目建成后將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、類工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域，是相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)品性能表現(xiàn)的決定因素之一。

以下為新聞原稿：

2023年12月28日上午，廣州增芯科技有限公司舉行首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式，公司董事長陳曉飛出席活動(dòng)并致辭，總經(jīng)理張亮、首席運(yùn)營官蕭國坤，全體二級(jí)以上主管及研發(fā)、運(yùn)營、廠務(wù)員工代表以及增城區(qū)政府部門領(lǐng)導(dǎo)、區(qū)產(chǎn)投集團(tuán)、寧西街道、項(xiàng)目參建單位、設(shè)備供應(yīng)商代表，共同現(xiàn)場見證增芯科技這又一里程碑式的重要時(shí)刻。

本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目搬入的首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備，運(yùn)用了中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，是國際主流芯片生產(chǎn)線上必不可少的設(shè)備。該設(shè)備的搬入，是繼項(xiàng)目“920封頂”以來的重要交付，標(biāo)志著增芯項(xiàng)目一期工程土建和機(jī)電安裝已經(jīng)完工，項(xiàng)目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運(yùn)營前的生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

陳曉飛董事長首先對(duì)蒞臨現(xiàn)場的領(lǐng)導(dǎo)和來賓表示熱烈歡迎，他代表增芯感謝政府各部門對(duì)于增芯項(xiàng)目建設(shè)的大力支持，感謝產(chǎn)投集團(tuán)、各參建方以及設(shè)備供應(yīng)商提供的優(yōu)質(zhì)服務(wù)和保障，感謝增芯全體員工的真心付出。

增城區(qū)科工商信局羅明局長、公司首席運(yùn)營官蕭國坤先生、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司副總裁張凱先生分別代表行業(yè)主管部門、公司管理層和設(shè)備供應(yīng)商（戰(zhàn)略合作伙伴）致辭，對(duì)首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備順利搬入表示熱烈祝賀。

隨后，張亮總經(jīng)理向中建四局、世源設(shè)計(jì)院、中電四公司頒發(fā)“項(xiàng)目優(yōu)秀承包商獎(jiǎng)”，感謝各單位對(duì)于項(xiàng)目建設(shè)的大力支持和精誠努力。

最后，增芯副總裁、生產(chǎn)運(yùn)營中心主管徐立介紹了本次搬入刻蝕設(shè)備的性能特點(diǎn)，邀請(qǐng)嘉賓上臺(tái)共同為運(yùn)載設(shè)備的車輛揭幕。紅布飛揚(yáng)，禮花奏響，現(xiàn)場掌聲連綿不絕。

增城區(qū)科工商信局、開發(fā)區(qū)企業(yè)服務(wù)局、科技創(chuàng)新局、投資促進(jìn)局、園區(qū)發(fā)展局、區(qū)產(chǎn)投及寧西街相關(guān)負(fù)責(zé)人親臨現(xiàn)場，共同見證這一激動(dòng)人心的時(shí)刻。

本次活動(dòng)的圓滿成功，標(biāo)志著增芯正式邁入新起點(diǎn)、新征程。參加活動(dòng)的增芯員工紛紛表示，將繼續(xù)發(fā)揮敢想敢干的精神，保持創(chuàng)“芯”激情，向社會(huì)各界展示增芯人求真務(wù)實(shí)的精神風(fēng)貌，再接再厲，全力以赴，為早日實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)持續(xù)貢獻(xiàn)增芯力量。

審核編輯 黃宇