動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2026-03-04 15:29
選購槽式清洗機(jī)時(shí),應(yīng)該重點(diǎn)比較哪些技術(shù)參數(shù)?
選購槽式清洗機(jī)時(shí),需圍繞清洗效果、效率、穩(wěn)定性、成本及智能化等核心目標(biāo),重點(diǎn)對(duì)比多維度技術(shù)參數(shù),確保設(shè)備精準(zhǔn)匹配生產(chǎn)需求。以下是關(guān)鍵參數(shù)的詳細(xì)拆解與對(duì)比要點(diǎn):一、清洗工藝適配參數(shù):決定核心清洗效果清洗工藝參數(shù)直接決定設(shè)備能否適配目標(biāo)污染物類型、工件材質(zhì)及工藝要求,是選型的首要考量,需重點(diǎn)對(duì)比以下維度:化學(xué)兼容性與材質(zhì)耐受性核心參數(shù):設(shè)備腔體及接觸部件的材質(zhì)、 -
發(fā)布了文章 2026-03-03 15:24
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發(fā)布了文章 2026-02-26 13:42
晶圓工藝制程清洗方法
晶圓工藝制程清洗是半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié),直接決定芯片良率與器件性能,需針對(duì)不同污染物(顆粒、有機(jī)物、金屬離子、氧化物)和制程需求,采用物理、化學(xué)、干法、復(fù)合等多類技術(shù),適配從成熟制程到先進(jìn)制程的全流程潔凈要求。以下從技術(shù)分類、核心工藝、應(yīng)用場景及未來趨勢,系統(tǒng)梳理晶圓工藝制程清洗方法:一、濕法清洗:主流技術(shù),依托化學(xué)與物理協(xié)同濕法清洗以液體化學(xué)試劑為核心,結(jié)177瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2026-02-25 15:04
濕法清洗和干法清洗,哪種工藝更適合先進(jìn)制程的硅片
在先進(jìn)制程的硅片清洗工藝中,濕法清洗與干法清洗各有技術(shù)特性,適配場景差異顯著,并不存在絕對(duì)的“最優(yōu)解”,而是需要結(jié)合制程節(jié)點(diǎn)、結(jié)構(gòu)復(fù)雜度、污染物類型等核心需求綜合判斷。以下從技術(shù)特性、制程適配性、核心優(yōu)劣勢三個(gè)維度,結(jié)合先進(jìn)制程的核心需求,對(duì)兩種工藝進(jìn)行系統(tǒng)對(duì)比分析:技術(shù)特性與核心能力對(duì)比濕法清洗技術(shù)原理:以液體化學(xué)試劑為核心,通過氧化、溶解、蝕刻等化學(xué)反應(yīng) -
發(fā)布了文章 2026-02-24 11:16
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發(fā)布了產(chǎn)品 2026-01-27 13:40
后道堿刻蝕工藝臺(tái) 芯矽科技
產(chǎn)品型號(hào):hdjksgyt13瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2026-01-27 13:35
手動(dòng)CUP清洗機(jī) 芯洗科技
產(chǎn)品型號(hào):sdcupqxj12瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2026-01-26 10:24
芯矽科技高端濕制程解決方案:技術(shù)突破與量產(chǎn)實(shí)踐解析
芯矽科技作為半導(dǎo)體濕法設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè),其高端濕制程裝備及工藝技術(shù)綜合解決方案具有以下核心優(yōu)勢:一、多技術(shù)協(xié)同的清洗與蝕刻系統(tǒng)物理+化學(xué)復(fù)合清洗技術(shù)結(jié)合超聲波/兆聲波(1–10MHz高頻)空化效應(yīng)與高壓噴淋,可清除低至10nm的顆粒,尤其適用于高深寬比結(jié)構(gòu)(如TSV硅通孔、FinFET鰭片)。通過多角度水流覆蓋復(fù)雜表面,實(shí)現(xiàn)無死角清潔。支持RCA標(biāo)準(zhǔn)流程( -
發(fā)布了產(chǎn)品 2026-01-19 14:15
半導(dǎo)體零件清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):bdtljqxj13瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2026-01-19 13:57
手動(dòng)化學(xué)品灌裝機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):sdhxpgzj12瀏覽量