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芯矽科技

專業(yè)濕法設(shè)備的制造商，為用戶提供最專業(yè)的工藝解決方案

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手動CUP清洗機(jī) 芯洗科技

型號： sdcupqxj

--- 產(chǎn)品詳情 ---

手動CUP清洗機(jī)是一種用于清洗晶圓花籃、片盒等半導(dǎo)體耗材的專用設(shè)備，其特點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

多功能集成設(shè)計

  • 集循環(huán)過濾、加熱、超聲清洗等多種功能于一體，可滿足不同材質(zhì)（如SUS304/316不銹鋼）和污染物類型的清洗需求。
  • 支持多槽協(xié)同工作，實現(xiàn)從藥液浸泡到IPA脫水的全流程操作。

靈活定制與兼容性

  • 根據(jù)用戶需求提供手動/半自動/全自動三種操控模式，并適配2-12英寸晶圓花籃規(guī)格，兼容單雙cassette裝載系統(tǒng)。
  • 模塊化結(jié)構(gòu)允許快速更換過濾單元或擴(kuò)展第三個清洗槽，適應(yīng)未來工藝升級。

潔凈度保障技術(shù)

  • 內(nèi)置0.1um/0.2um級精密過濾器，有效攔截微粒雜質(zhì)；配合丙酮+IPA梯度沖洗工藝，確保表面無光刻膠殘留。
  • 部分機(jī)型搭載實時監(jiān)測系統(tǒng)，通過電導(dǎo)率傳感器動態(tài)調(diào)整化學(xué)試劑配比，維持最佳清洗效能。

總的來說，這類設(shè)備憑借高度靈活性和專業(yè)化配置，成為連接實驗室研發(fā)與量產(chǎn)線的重要紐帶，特別適用于小批量多品種的精密清洗場景。

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