一、MEMS簡介MEMS的全稱是微型電子機械系統利用半導體制造工藝和材料,將傳感器、執(zhí)行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統,其內部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分:傳感器和執(zhí)行器。與傳統的機械傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點,可以滿足物聯網時代對于傳感器的要求。
二、?MEMS分類MEMS傳感器種類很多,也有多種分類方法。按其工作原理,大致可分為MEMS物理、化學和生物傳感器,其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類,不同的MEMS傳感器可以測量不同的量,實現不同的功能。
三、國內傳感器企業(yè)的主要布局區(qū)域
長三角區(qū)域?以上海、無錫、南京為中心。?逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產體系及產業(yè)配套。
珠三角區(qū)域?以深圳中心城市為主。?由附近中小城市的外資企業(yè)組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產業(yè)體系。
東北地區(qū)?以沈陽、長春、哈爾濱為主。?主要生產MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、濕敏傳感器。
京津區(qū)域?主要以高校為主。?從事新型傳感器的研發(fā),在某些領域填補國內空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。
中部地區(qū)?以鄭州、武漢、太原為主。?產學研緊密結合的模式,在PTC/NTC熱敏電阻、感應式數字液位傳感器和氣體傳感器等產業(yè)方面發(fā)展態(tài)勢良好。lw
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