錫膏測厚檢測是利用激光非接觸三維掃描密集取樣技術(shù),為了收集和高度有關(guān)的信息,在拍攝的圖像上采用壓電納米定位臺帶動光柵移動,每移動一次拍攝一組圖像,最終合成一組圖像,描繪出錫膏的厚度分布圖,可以監(jiān)控錫膏印刷質(zhì)量,減少產(chǎn)品不良率。
P11.XYZ為三維壓電納米定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
機構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)XYZ三軸100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高導(dǎo)向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。
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