摘要

MEMS已被認(rèn)為是最有前途的技術(shù)之一。在21世紀(jì)，它具有革命性的工業(yè)和結(jié)合以硅為基礎(chǔ)的微電子產(chǎn)品微加工技術(shù)。它的技術(shù)和微系統(tǒng)電子設(shè)備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機(jī)電系統(tǒng)文章全部詳情，重點(diǎn)介紹其商業(yè)應(yīng)用和器件制造方法。它還描述了MEMS傳感器和執(zhí)行器的范圍可被MEMS器件感知或作用的現(xiàn)象概述了該行業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn)。 ?

介紹 ?

本報(bào)告涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)或MEMS的新興領(lǐng)域。MEMS是一種用于制造微型集成設(shè)備或系統(tǒng)的工藝技術(shù)機(jī)械及電子元件。?它們是用集成電路批量制造的加工技術(shù)，大小從幾微米到幾毫米不等。?這些設(shè)備(或系統(tǒng))具有在微尺度上感知、控制和驅(qū)動(dòng)的能力。在宏觀尺度上產(chǎn)生影響，MEMS的跨學(xué)科性質(zhì)利用了設(shè)計(jì)、工程和制造具有集成電路等廣泛的技術(shù)領(lǐng)域的專業(yè)知識(shí)制造技術(shù)、機(jī)械工程、材料科學(xué)、電氣工程、 化學(xué)和化學(xué)工程，以及流體工程，光學(xué)，儀器儀表和包裝。MEMS的復(fù)雜性也體現(xiàn)在廣泛的市場和集成MEMS設(shè)備的應(yīng)用程序。?MEMS可以在各種系統(tǒng)中找到汽車、醫(yī)療、電子、通信和國防應(yīng)用。?當(dāng)前MEMS 設(shè)備包括用于安全氣囊傳感器的加速度計(jì)，噴墨打印機(jī)頭，計(jì)算機(jī)磁盤驅(qū)動(dòng)器等?。

MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一，通過將基于硅的微電子學(xué)與微加工技術(shù)相結(jié)合，具有徹底改變工業(yè)和消費(fèi)產(chǎn)品的潛力。?它的技術(shù)和基于的微系統(tǒng)設(shè)備有可能極大地影響我們的生活和我們的生活方式。如果半導(dǎo)體微細(xì)制造被視為第一次微細(xì)制造革命，MEMS是第二次革命。