我國每年進(jìn)口額最大的單項(xiàng)商品是什么?是石油嗎?不是。是鐵礦石?更不是。是芯片!是集成電路芯片!我國每年進(jìn)口的集成電路芯片價(jià)值高達(dá)1200億美元。放眼世界，集成電路作為信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心，是國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，在推動(dòng)經(jīng)濟(jì)發(fā)展、社會(huì)進(jìn)步、提高人民生活水平以及保障國家安全等方面發(fā)揮著重要作用。能否用自己的關(guān)鍵裝備生產(chǎn)集成電路，已成為當(dāng)前國際競爭的焦點(diǎn)和衡量一個(gè)國家或地區(qū)現(xiàn)代化程度以及綜合國力的重要標(biāo)志。

　　由于西方國家的技術(shù)封鎖和國內(nèi)較為薄弱的高科技產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，中國一直沒有自己的集成電路制造關(guān)鍵裝備，長期以來在國際競爭中缺少話語權(quán)，嚴(yán)重制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。2002年3月，上海微電子裝備有限公司(簡稱SMEE)肩負(fù)起為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研制關(guān)鍵裝備——光刻機(jī)的歷史使命，在上海浦東張江高科技園區(qū)這片創(chuàng)新的熱土上誕生了。十年來，SMEE一步一個(gè)腳印，踏實(shí)地邁出了開發(fā)國產(chǎn)高端光刻設(shè)備堅(jiān)實(shí)的步伐。

　　集成電路，通俗說就是“芯片”。隨著信息社會(huì)的發(fā)展，手機(jī)、電腦、電視等各種電子移動(dòng)終端都離不開集成電路。自從1958年世界上第一塊集成電路問世以來，它的體積越來越小，性能越來越強(qiáng)大。特別是近20年來，幾乎每隔兩三年就有一代產(chǎn)品問世。要把一塊體積小巧、功能強(qiáng)大的集成電路芯片制造出來，除了卓越的電路設(shè)計(jì)外，更離不開將設(shè)計(jì)圖型轉(zhuǎn)換成高性能芯片的制造設(shè)備，而其中最為關(guān)鍵的設(shè)備就是光刻機(jī)。在摩爾定律的推動(dòng)下光刻機(jī)的精密程度已經(jīng)以納米為單位。

　　人們常說，制造一塊芯片，其精細(xì)程度比在一根頭發(fā)絲上“繡花”還要高。高端光刻機(jī)是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價(jià)格最昂貴的關(guān)鍵設(shè)備，是精密光學(xué)、機(jī)械、控制和材料等先進(jìn)科學(xué)技術(shù)和工程技術(shù)共同交叉融合的復(fù)雜大系統(tǒng)產(chǎn)物，它的研發(fā)過程及研發(fā)成果對集成電路產(chǎn)業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有極大的技術(shù)帶動(dòng)作用。

　　SMEE的工程師們打了個(gè)更形象的比方：用光刻機(jī)在硅片上刻電路，猶如兩架波音747客機(jī)在以每小時(shí)1000公里的速度同步飛行時(shí)，它們可以同時(shí)在一顆小米粒上刻字!這正是高端光刻機(jī)工件臺(tái)掩模臺(tái)高速同步運(yùn)動(dòng)時(shí)所達(dá)到的納米級(jí)同步精度。要制造出如此高精度的芯片，對光刻機(jī)本身的各項(xiàng)精度要求就更高，以重要零件鏡片面形誤差為例，必須在5納米以內(nèi)，相當(dāng)于整個(gè)足球場的高低誤差不超過0.5毫米。