資料介紹
本文主磐介紹一種基于LTPS(低溫多晶硅)和小分子OLED(有機(jī)發(fā)光二級(jí)管)三次蒸鍍技術(shù)的 12inch AMOL西(主動(dòng)矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管)顯示屏制造工藝技術(shù)。對(duì)在工藝調(diào)試過(guò)程中影響器件性能及 產(chǎn)品不良的關(guān)鍵工藝因子進(jìn)行了闡述和分析,并對(duì)基于此工藝生產(chǎn)出的12inch AMOLED顯示屏特性進(jìn)行了 系統(tǒng)研究,同時(shí),對(duì)后續(xù)的產(chǎn)品董產(chǎn)導(dǎo)入和產(chǎn)品應(yīng)用前景進(jìn)行了展望。
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