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微慣性器件是MEMS發(fā)展的重點(diǎn)，如硅微加速度計(jì)、硅微陀螺儀和硅微慣性測量組合等，硅微慣性器件相較于傳統(tǒng)陀螺，具有輕便易于安裝、使用壽命長、可靠性高、耐沖擊、易于批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，在汽車、無人機(jī)、等導(dǎo)航系統(tǒng)中具有廣泛應(yīng)用。由于目前微慣性器件的精度相對較低，因此其標(biāo)定、誤差建模與補(bǔ)償研究對于提高其精度至關(guān)重要。
陀螺是敏感殼體相對慣性空間做角運(yùn)動的裝置，陀螺儀即是能白主地測量物體角速度或角位移的器件。陀螺儀類型不同，其T作原理也不同，因而產(chǎn)生誤差的機(jī)理也不同，標(biāo)志陀螺儀性能的參數(shù)和陀螺儀的誤差模型也各不相同。
陀螺的漂移誤差通常可分為兩類：有規(guī)律漂移和隨機(jī)漂移。有規(guī)律漂移是指陀螺儀產(chǎn)生的大小與方向保持不變或遵循一定規(guī)律變化的漂移，可以通過試驗(yàn)和分析的方法得到漂移的數(shù)值大小或變化規(guī)律。而隨機(jī)漂移是指陀螺在運(yùn)行中所產(chǎn)生的大小與方向沒有規(guī)律可循的漂移，一般是由環(huán)境噪聲、溫度變化等引起的隨機(jī)干擾力矩而產(chǎn)生的。陀螺漂移誤差表示了陀螺的測量精度，對于確定陀螺的特性非常關(guān)鍵。文中針對MEMS陀螺儀的漂移誤差標(biāo)定方法進(jìn)行討論，并對標(biāo)定實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了分析。
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