金屬層2工藝是什么

金屬層2（M2）工藝與金屬層1工藝類似。金屬層2工藝是指形成第二層金屬互連線，金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第一層金屬或者第三層金屬連接起來。

2024-10-24 標(biāo)簽：晶圓工藝光刻 1.8k 0

頂層金屬工藝是指什么

頂層金屬工藝是指形成最后一層金屬互連線，頂層金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第二層金屬連接起來。頂層金屬需要作為電源走線，連接很長的距離，需要比較低的電阻，需要...

2024-10-29 標(biāo)簽：晶圓工藝光刻 1.8k 0

芯片架構(gòu)計算任務(wù)改變對計算架構(gòu)的需求

漸進(jìn)式改進(jìn)與性能的巨大飛躍相結(jié)合，雖然這些改進(jìn)將計算和分析能力提升到全新水平，但也需要全新的權(quán)衡考慮。這些變革的核心在于高度定制的芯片架構(gòu)，芯片是在最先...

2023-09-27 標(biāo)簽：傳感器芯片內(nèi)存 1.7k 0

樂趣探索不一樣的計算光刻

之前的小講堂有介紹過，光刻過程就好比用照相機(jī)拍照，將掩模版上的芯片設(shè)計版圖曝光到晶圓上，從而制造出微小的電路結(jié)構(gòu)。ASML光刻機(jī)的鏡片組使用極其精密的加...

2023-05-25 標(biāo)簽：光刻微電路ASML 1.7k 0

芯片制造的光刻支出如何隨著各種節(jié)點縮小演變歷程

單片設(shè)計每個晶圓有 30 個好的die，而小芯片 MCM 設(shè)計每個晶圓有 79 個好的die。假設(shè)所有有缺陷的die都必須扔進(jìn)垃圾桶。如果沒有芯片良率收...

2022-07-22 標(biāo)簽：cpu晶圓光刻 1.6k 0

逆向光刻的原理及其優(yōu)勢

中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對先進(jìn)光刻技術(shù)的理解，本學(xué)期集成電路學(xué)院開設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...

2023-05-26 標(biāo)簽：集成電路光刻光刻技術(shù) 1.6k 0

抗蝕劑涂層方法的詳細(xì)說明

　　在基材上涂上光刻膠。這是一種具有很高的吞吐量和潛力同質(zhì)性。旋涂的原理是典型地，幾毫升光刻膠被分配到以1000轉(zhuǎn)/分的速度旋轉(zhuǎn)的基板(通常4000 r...

2022-07-26 標(biāo)簽：光刻硅片涂層 1.6k 0

半導(dǎo)體光刻的工藝過程（3）

涂布后，所得抗蝕劑膜將含有 20-40% 重量的溶劑。后應(yīng)用烘烤過程，也稱為軟烘烤或預(yù)烘烤，包括在旋涂后通過去除多余的溶劑來干燥光刻膠。減少溶劑含量的主...

2022-08-29 標(biāo)簽：半導(dǎo)體工藝光刻 1.6k 0

全面解析***結(jié)構(gòu)及工作原理

光刻與光刻機(jī) ?對準(zhǔn)和曝光在光刻機(jī)(Lithography Tool)內(nèi)進(jìn)行。 ?其它工藝在涂膠顯影機(jī)(Track)上進(jìn)行。 光刻機(jī)結(jié)...

2023-12-19 標(biāo)簽：控制系統(tǒng)IC設(shè)計測量系統(tǒng) 1.5k 0

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域光刻膠的作用和意義

光刻是半導(dǎo)體加工中最重要的工藝之一，決定著芯片的性能。光刻占芯片制造時間的40%-50%，占其總成本的30%。光刻膠是光刻環(huán)節(jié)關(guān)鍵耗材，其質(zhì)量和性能與電...

2023-10-26 標(biāo)簽：芯片pcb芯片制造 1.5k 0

用于高分辨率制造的低成本顯微投影光刻系統(tǒng)

集成光信號分配、處理和傳感網(wǎng)絡(luò)需要小型化基本光學(xué)元件，如波導(dǎo)、分光器、光柵和光開關(guān)。為了實現(xiàn)這一目標(biāo)，需要能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率制造的方法。

2023-12-04 標(biāo)簽：mems高分辨率光刻 1.4k 0

研究人員制造出直徑近30厘米的光學(xué)超表面

再見鏡頭，你好超表面。所謂的超表面可以幫助使光學(xué)系統(tǒng)在未來變得更薄，同時增加其功能。 到目前為止，傳統(tǒng)的制造工藝通常只能實現(xiàn)小的超表面，通常小于一平方毫...

2023-08-07 標(biāo)簽：光刻電子束 1.3k 0

光阻去除屬于什么制程

光阻去除（即去膠工藝）屬于半導(dǎo)體制造中的光刻制程環(huán)節(jié)，是光刻技術(shù)流程中不可或缺的關(guān)鍵步驟。以下是其在整個制程中的定位和作用：1.在光刻工藝鏈中的位置典型...

2025-07-30 標(biāo)簽：光刻半導(dǎo)體制造 1.3k 0

用于3D封裝的穿硅通過最后光刻的覆蓋性能（上）

華林科納對包括背照式圖像傳感器、中介層和 3D 存儲器在內(nèi)的消費產(chǎn)品相關(guān)設(shè)備的需求正在推動使用硅通孔 (TSV) [1] 的先進(jìn)封裝。 TSV 處理的各...

2022-07-19 標(biāo)簽：封裝光刻TSV 1.3k 0

CLL技術(shù)應(yīng)用于新材料和系統(tǒng)的制造和研究

化學(xué)提升光刻(CLL)是一種減法軟光刻技術(shù)，它使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)標(biāo)記來繪制功能分子的自組裝單層，應(yīng)用范圍從生物分子圖案到晶體管制造。在此我們...

2022-06-28 標(biāo)簽：半導(dǎo)體光刻蝕刻 1.2k 0

考慮光刻中厚掩模效應(yīng)的邊界層模型

短波長透明光學(xué)元件的缺乏限制了深紫外光刻中的可用波長，而晶片上所需的最小特征繼續(xù)向更深的亞波長尺度收縮。這對用入射場代替掩模開口上的場的基爾霍夫邊界條件...

2023-08-25 標(biāo)簽：光刻掩模 1.2k 0

詳解無臭氧抗蝕劑剝離工藝

近年來，光掩?？刮g劑剝離和清潔技術(shù)的發(fā)展主要是由于行業(yè)需要通過從這些過程中消除硫酸和氫氧化銨來防止表面霧霾的形成。因此，傳統(tǒng)的 SPM (H2SO4 +...

2022-03-30 標(biāo)簽：工藝參數(shù)光刻 1.2k 0