射頻探針的歷史

在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，射頻探針是不可或缺的工具。自1980年代，Reed Gleason與Eric Strid在Tektronix工作時(shí)合作發(fā)明了第一臺(tái)高頻晶圓探針，并于1983年共同創(chuàng)辦Cascade Microtech公司，這一技術(shù)開始得以發(fā)展壯大。在此之前，測(cè)試MMIC器件幾乎沒(méi)有有效的方法，通常只能在鍵合或封裝后進(jìn)行測(cè)試。早期的RF探針采用共面陶瓷材料制造，但陶瓷的彈性范圍有限，同時(shí)支持的射頻頻率也有限，第一代探針僅覆蓋到18 GHz。然而，如今我們可以選擇多種類型的探針，其覆蓋頻率輕松可達(dá)110 GHz以上。

射頻探針的類型

為了測(cè)量電路性能，需要將信號(hào)傳輸?shù)侥撤N傳輸線上，這要求至少兩個(gè)導(dǎo)體，即“信號(hào)導(dǎo)體”和“地導(dǎo)體”。因此，射頻探針可以分為三種基本類型：GS、SG、GSG。

除了這些基本類型，還存在各種組合，如GSGSG、GSSG、SGS等等。探針本身需要與內(nèi)部不同傳輸媒介的特征阻抗匹配，以確保在不同的傳輸模式下高效傳輸電磁能量。

傳統(tǒng)的射頻探針通常包括以下幾個(gè)部分：

1、測(cè)試儀器接口（同軸或波導(dǎo)）

2、從測(cè)試接口到微同軸電纜的轉(zhuǎn)接

3、微同軸電纜到平面波導(dǎo)（CPW/MS等）的轉(zhuǎn)接

4、共面接口到DUT部分即針尖。

也有一些探針將第3和第4部分合并在一起，或者干脆沒(méi)有微同軸電纜。

一般而言，65 GHz以下的應(yīng)用使用同軸頭，50 GHz到110 GHz之間的頻率可以選擇同軸或波導(dǎo)。對(duì)于覆蓋DC到110 GHz的寬帶測(cè)試系統(tǒng)，如果需要一次掃描測(cè)試，通常使用1mm的同軸接口，盡管價(jià)格較高。而110 GHz以上的探針通常采用波導(dǎo)形式。

三

其他相關(guān)概念

探針間距（Probe Pitch）：

指的是針尖之間的間距，一般在50-1000微米之間。對(duì)于毫米波頻率的應(yīng)用，針尖間距通常較小。我司支持間距100-1250微米。

探針偏移（Probe Skate）：

當(dāng)您在Z軸方向向下按壓探針時(shí)，當(dāng)探針接觸到被測(cè)器件時(shí)，它會(huì)在ZY平面上發(fā)生彎曲移動(dòng)。通常，這也是判斷是否成功扎上的一個(gè)現(xiàn)象。

去嵌算法（De-embedding）：

去嵌是一項(xiàng)在探針出現(xiàn)之前就存在的技術(shù)，曾廣泛用于標(biāo)準(zhǔn)分立夾具測(cè)試中。目前已有許多研究關(guān)于去嵌相關(guān)的算法。【迪賽康】教你怎么使用R&S的網(wǎng)分，去嵌探針測(cè)試影響

分享一篇測(cè)試校準(zhǔn)相關(guān)的博士論文片段：

四

射頻探針廠商念

FormFactor公司于2016年收購(gòu)了Cascade Microtech公司，成為行業(yè)的領(lǐng)先者之一，其產(chǎn)品覆蓋面非常廣泛。他們的微波毫米波探針產(chǎn)品系列包括ACP系列、Infinity系列和|Z| Probe系列。這些探針具有不同的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)，適用于不同的應(yīng)用需求

Designcon：

迪賽康（Designcon）是一家專注于高頻高速測(cè)試領(lǐng)域的射頻探針品牌。成立于2016年，公司自成立以來(lái)一直致力于高頻、高速領(lǐng)域的探索和研發(fā)。

射頻探針類型多樣，包括GS、SG、GSG、GSSG以及差分可調(diào)間距探針，以滿足不同的應(yīng)用場(chǎng)景。探針產(chǎn)品支持阻抗、S參數(shù)等多種高頻測(cè)試，并可進(jìn)行定制探針。

以下為我司探針產(chǎn)品圖

此外，還有其他一些射頻探針制造商，較大的一些包括：

Keysight Technologies：提供各種類型的射頻和微波探針，以及相關(guān)測(cè)試儀器。

Rohde & Schwarz：提供廣泛的射頻和微波測(cè)試解決方案，包括探針和測(cè)量設(shè)備。

Anritsu：專注于通信和電子測(cè)試領(lǐng)域，提供各種射頻和微波探針以及測(cè)試解決方案。

MPI Corporation：全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體測(cè)試解決方案供應(yīng)商，提供多種射頻和微波探針用于半導(dǎo)體測(cè)試。

GGB Industries：專注于微波和射頻探針技術(shù)，提供高性能探針以滿足不同的測(cè)試需求。

SV Probe：專門提供半導(dǎo)體測(cè)試探針，包括射頻和微波應(yīng)用。

總結(jié)：

國(guó)產(chǎn)探針具有更短的交貨周期，能夠更快地滿足您的需求。其次，國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品在售后支持和維修方面更為便利，您可以輕松聯(lián)系本地供應(yīng)商解決問(wèn)題，減少停機(jī)時(shí)間。此外，國(guó)產(chǎn)探針價(jià)格更加適中，有著更具競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格，降低了測(cè)試設(shè)備的總成本。同時(shí)，本地技術(shù)支持和培訓(xùn)服務(wù)可以提高測(cè)試效率，并確保設(shè)備性能穩(wěn)定。此外，國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品更容易根據(jù)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求進(jìn)行定制和改進(jìn)，以滿足客戶的具體需求。最后，選擇國(guó)產(chǎn)探針還可以避免受到國(guó)際貿(mào)易問(wèn)題的影響，提供更穩(wěn)定的供應(yīng)鏈。

總之，選擇國(guó)產(chǎn)射頻探針是一個(gè)經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且明智的選擇，尤其是在考慮到交貨時(shí)間、價(jià)格、售后支持和定制需求等方面。

編輯：黃飛