MEMS是多學(xué)科交叉的復(fù)雜系統(tǒng)，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈涉及設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、軟件及應(yīng)用方案環(huán)節(jié)。MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的上游負(fù)責(zé)MEMS器件設(shè)計(jì)、材料和生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)，中游生產(chǎn)制造出MEMS器件、下游使用MEMS器件制造終端電子產(chǎn)品。

MEMS整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈復(fù)雜，涉及的廠商眾多；中國(guó)的設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試廠商都在積極布局MEMS，已形成完整MEMS的產(chǎn)業(yè)鏈。

1、全球MEMS生產(chǎn)廠商

全球前十名 MEMS廠商主要包括博世、意法半導(dǎo)體、惠普、德州儀器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、樓氏電子、松下等等。其中 BOSCH因?yàn)槠湓?a target="_blank">汽車電子和消費(fèi)電子的雙重布局，牢牢占據(jù)著行業(yè)的第一的位置，其營(yíng)收約占五大公司合計(jì)營(yíng)收的三分之一。

大部分 MEMS行業(yè)的主要廠商是以 Fabless為主，例如樓氏、 HP、佳能等。同時(shí)，平行的也有 IDM廠商垂直參與到整條產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)，比如 Bosch、 ST等都建有自己的晶元代工生產(chǎn)線。

圖：全球MEMS生產(chǎn)廠商

2、MEMS代工

MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速，獨(dú)立的MEMS代工廠努力尋求標(biāo)準(zhǔn)化的工藝以提升規(guī)模經(jīng)濟(jì)，減少制造時(shí)間和降低成本，使得獨(dú)立的MEMS代工廠快速成長(zhǎng)，但目前IDM代工仍處于市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)地位。

3、MEMS封裝測(cè)試

目前具備MEMS封裝測(cè)試能力的國(guó)際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等，國(guó)內(nèi)有華天科技、長(zhǎng)電科技、晶方科技等廠商。盡管國(guó)內(nèi)的MEMS前端制造還落后于國(guó)際大廠，由于國(guó)內(nèi)的封裝技術(shù)起步較早，國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈后端封裝較為完善。

中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)詳解

從產(chǎn)品使用領(lǐng)域結(jié)構(gòu)來(lái)看，國(guó)內(nèi) MEMS公司在營(yíng)業(yè)規(guī)模、技術(shù)水平、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、與國(guó)外有明顯差距， 60%-70%的設(shè)計(jì)產(chǎn)品集中在加速度計(jì)、壓力傳感器等傳統(tǒng)領(lǐng)域。工藝開(kāi)發(fā)是我國(guó) MEMS行業(yè)目前面臨最主要的問(wèn)題，產(chǎn)品在本身技術(shù)實(shí)力和生產(chǎn)工藝還有待于進(jìn)步。國(guó)內(nèi)MEMS行業(yè)的 fabless規(guī)模相對(duì)較小，但市場(chǎng)規(guī)模來(lái)說(shuō)具備很大的發(fā)展空間。面對(duì)國(guó)內(nèi)巨大的消費(fèi)電子市場(chǎng)，自產(chǎn)自銷滿足國(guó)內(nèi)部分中低端市場(chǎng)需求，也是國(guó)內(nèi) Fabless司的一個(gè)捷徑。

1、國(guó)內(nèi)傳感器企業(yè)的區(qū)域布局

中國(guó) MEMS設(shè)計(jì)企業(yè)主要集中于華東地區(qū)，約占全國(guó)企業(yè)總數(shù)的 55%，其中，以上海、蘇州、無(wú)錫三地為產(chǎn)業(yè)集中地：

上海：深迪，矽睿，麗恒，芯敏，微聯(lián)，銘動(dòng)，文襄，天英，巨哥

蘇州：明皜，敏芯，雙橋，多維，能斯達(dá)，汶灝，圣賽諾爾，希美

無(wú)錫：美新，樂(lè)爾，康森斯克，微奧，杰德，必創(chuàng)，微納，芯奧微，沃浦

其他：深圳瑞聲，山東歌爾，河北美泰，山西科泰，鄭州煒盛，北京水木智芯，浙江大立，武漢高德，成都國(guó)騰，西安勵(lì)德，天津微納芯等。

2、中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)簡(jiǎn)介

1）耐威科技-國(guó)內(nèi)MEMS代工龍頭

耐威科技是國(guó)內(nèi)產(chǎn)品同時(shí)涵蓋慣性及衛(wèi)星導(dǎo)航，具有軍工資質(zhì)的為數(shù)不多的企業(yè)之一。公司立足導(dǎo)航產(chǎn)業(yè)，經(jīng)多年發(fā)展形成“慣性導(dǎo)航+衛(wèi)星導(dǎo)航+組合導(dǎo)航”產(chǎn)業(yè)鏈全覆蓋，掌握了慣性導(dǎo)航及組合導(dǎo)航、高精度衛(wèi)星導(dǎo)航定位的若干關(guān)鍵技術(shù)，同時(shí)其控股子公司具有從事軍品研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的專業(yè)資質(zhì)。

2）蘇奧傳感-國(guó)內(nèi)汽車油量傳感器龍頭

蘇奧傳感全稱為江蘇奧力威傳感高科股份有限公司，其主營(yíng)業(yè)務(wù)是研發(fā)、生產(chǎn)和銷售汽車零部件，主要產(chǎn)品分為三大類，分別為傳感器及配件、燃油系統(tǒng)附件及汽車內(nèi)飾件。目前是中國(guó)最大的汽車油量傳感器制造企業(yè)之一，江蘇省高新技術(shù)企業(yè)，公司于2016年4月29日在深交所創(chuàng)業(yè)板上市。蘇奧傳感目前公司擁有四家子公司，即傳感器研究所、舒爾馳精密、煙臺(tái)奧力威及武漢奧力威。2015年10月8日，公司決定對(duì)傳感器研究所進(jìn)行清算并注銷。

3）蘇州固锝-已量產(chǎn)MEMS慣性傳感器

蘇州固锝是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體分立器件二極管行業(yè)最完善、最齊全的設(shè)計(jì)、制造、封裝、銷售的廠商，從前端芯片設(shè)計(jì)到后端封裝技術(shù)，形成了一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)鏈。主要產(chǎn)品包括汽車整流二極管、功率模塊、整流二極管芯片、硅整流二極管、開(kāi)關(guān)二極管、穩(wěn)壓二極管、微型橋堆、軍用熔斷絲、光伏旁路模塊等，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在航空航天、汽車、綠色照明、IT、家用電器以及大型設(shè)備的電源裝置等許多領(lǐng)域。公司設(shè)計(jì)、研發(fā)太陽(yáng)能電池用銀漿以及各種電子漿料，研發(fā)并規(guī)模化生產(chǎn)物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的MEMS傳感器。

4）華工科技-國(guó)內(nèi)家電溫度傳感器龍頭

華工科技依托于華中科技大學(xué)，以激光技術(shù)及其應(yīng)用為主業(yè)，建立了激光裝備制造、光通信器件、激光全息仿偽、傳感器、現(xiàn)代服務(wù)業(yè)的產(chǎn)業(yè)格局，將以智能制造和物聯(lián)科技為主要業(yè)務(wù)發(fā)展方向。公司旗下企業(yè)華工激光、華工正源、華工高理、華工圖像、華工賽百的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、航空航天、汽車工業(yè)、鋼鐵冶金、船舶工業(yè)、通信網(wǎng)絡(luò)、國(guó)防軍工等重要領(lǐng)域，市場(chǎng)占有率處于行業(yè)領(lǐng)先地位。

5）士蘭微-國(guó)內(nèi)稀缺的IDM模式半導(dǎo)體公司

士蘭微是一家專業(yè)從事集成電路以及半導(dǎo)體微電子相關(guān)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。主要分為電源與功率驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品線、MCU 產(chǎn)品線、數(shù)字音視頻產(chǎn)品線、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)與產(chǎn)品線、射頻與混合信號(hào)產(chǎn)品線、分立器件產(chǎn)品線等。目前是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多的IDM 模式半導(dǎo)體公司。

6）漢威電子-國(guó)內(nèi)氣體傳感器龍頭

漢威電子是國(guó)內(nèi)最大的氣體傳感器及儀表制造商。公司圍繞物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)，將感知傳感器、智能終端、通訊技術(shù)、云計(jì)算和地理信息等物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)緊密結(jié)合，打造漢威云，建立完整的物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)鏈，結(jié)合環(huán)保治理、節(jié)能技術(shù)，為智慧城市、安全生產(chǎn)、環(huán)境保護(hù)、民生健康提供完善的解決方案。漢威電子堅(jiān)持“聚焦專業(yè)細(xì)分市場(chǎng)”的發(fā)展戰(zhàn)略，產(chǎn)品和系統(tǒng)解決方案已應(yīng)用于全球近百個(gè)國(guó)家，建立了以傳感器為核心，覆蓋多門類檢測(cè)儀表及行業(yè)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的整體布局。

7）中航電測(cè)-軍工MEMS龍頭

中航電測(cè)儀器股份有限公司是中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司控股企業(yè)，主營(yíng)業(yè)務(wù)為研制電阻應(yīng)變計(jì)、精密電阻、應(yīng)變式傳感器、稱重儀表和軟件、航空機(jī)載和地面測(cè)試系統(tǒng)、機(jī)動(dòng)車性能及環(huán)保檢測(cè)系統(tǒng)、機(jī)動(dòng)車駕駛員智能化培訓(xùn)系統(tǒng)、遠(yuǎn)程聯(lián)網(wǎng)監(jiān)管網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)、車載稱重控制系統(tǒng)、工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)、精密機(jī)電控制產(chǎn)品和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用等軍民用測(cè)量和控制產(chǎn)品及系統(tǒng)解決方案。公司擁有國(guó)際水平的設(shè)計(jì)能力、高水平的工藝裝備及工藝制造技術(shù)，在國(guó)內(nèi)中高端應(yīng)變計(jì)和傳感器市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位