等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如，IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕，等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:31
5641 等離子體圖形化刻蝕過(guò)程中，刻蝕圖形將影響刻蝕速率和刻蝕輪廓，稱為負(fù)載效應(yīng)。負(fù)載效應(yīng)有兩種:宏觀負(fù)載效應(yīng)和微觀負(fù)載效應(yīng)。
2023-02-08 09:41:265131 。常見(jiàn)的干法刻蝕設(shè)備有反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（RIE）、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）、磁性中性線等離子體刻蝕機(jī)（NLD）、離子束刻蝕機(jī)（IBE），本文目的對(duì)各刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)進(jìn)行剖析，以及分析技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。
2024-01-20 10:24:5616124 
當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后，高頻電流I通過(guò)感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(chǎng)(綠色)。開(kāi)始時(shí)，管內(nèi)為Ar氣，不導(dǎo)電，需要用高壓電火花觸發(fā)，使氣體電離后，在高頻交流電場(chǎng)的作用下，帶電粒子高速運(yùn)動(dòng)，碰撞，形成“雪崩”式放電，產(chǎn)生等離子體氣流。
2019-10-09 09:11:46
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優(yōu)勢(shì)?！癟DK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發(fā)生器成為可能。我們能夠?qū)㈦娫春万?qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)為一個(gè)非常緊湊
2022-05-18 15:16:16
等離子弧切割機(jī)是借助等離子切割技術(shù)對(duì)金屬材料進(jìn)行加工的機(jī)械。等離子切割是利用高溫等離子電弧的熱量使工件切口處的金屬部分或局部熔化(和蒸發(fā))，并借高速等離子的動(dòng)量排除熔融金屬以形成切口的一種加工方法。
2019-09-27 09:01:37
等離子發(fā)生器的主要工作原理是將低電壓通過(guò)升壓電路升至正高壓及負(fù)高壓，利用正高壓及負(fù)高壓電離空氣產(chǎn)生大量的正離子及負(fù)離子，負(fù)離子的數(shù)量大于正離子的數(shù)量。
2019-09-30 09:00:48
等離子和液晶電視的區(qū)別:這是最詳細(xì)的一篇介紹了。前言：現(xiàn)如今對(duì)于“平板電視”這個(gè)概念很多人都應(yīng)該已經(jīng)熟悉了，但是如果真打算買一臺(tái)平板電視，究竟是選擇液晶電視好，還是選擇等離子電視好呢？這可能是很多
2008-06-10 14:58:24
等離子顯示器的工作原理是什么？ＰＤＰ等離子顯示器有哪些特點(diǎn)？等離子顯示器比傳統(tǒng)的顯像管和ＬＣＤ液晶顯示器具有哪些技術(shù)優(yōu)勢(shì)？
2021-06-07 06:06:32
的發(fā)展較為迅速，但國(guó)內(nèi)還沒(méi)有相關(guān)的產(chǎn)品和應(yīng)用報(bào)導(dǎo)。本文介紹日本伊世電子株式會(huì)社（ISE ELECTRONIC CORP.）推出的GU128×64等離子顯示屏的特性和接口電路，并根據(jù)應(yīng)用實(shí)例，簡(jiǎn)單
2018-12-07 10:32:11
主要介紹了等離子清洗的原理、等離子清洗的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)以及等離子清洗在生產(chǎn)中的實(shí)際應(yīng)用效果?！娟P(guān)鍵詞】：等離子;;清洗;;應(yīng)用【DOI】：CNKI:SUN:JDYG.0.2010-01-006【正文快照
2010-06-02 10:07:40
等離子顯示屏是由相距幾百微米的兩塊玻璃板，中間排列大量的等離子腔密封組成的。每個(gè)等離子腔都充有惰性氣體，通過(guò)對(duì)其施加電壓來(lái)產(chǎn)生紫外光，從而激勵(lì)顯示屏上的紅綠藍(lán)三基色熒光粉發(fā)光。每個(gè)等離子腔體等效于一個(gè)像素，其工作機(jī)理類似普通日光燈。由這些像素的明暗和顏色變化，來(lái)合成各種灰度和色彩的電視圖像。
2019-10-17 09:10:18
等離子電視工作原理與日光燈很相似，等離子電視也叫3D等離子電視，它采用了等離子管作為發(fā)光元件，屏幕上每一個(gè)等離子管對(duì)應(yīng)一個(gè)像素，屏幕以玻璃作為基板，基板間隔一定距離，四周經(jīng)氣密性封接形成一個(gè)個(gè)放電
2014-02-10 18:20:48
等離子電視耗電嗎？耗電量會(huì)有多大？ 等離子電視的標(biāo)稱耗電量都很大，但是事實(shí)上等離子的耗電量會(huì)隨著畫(huà)面的明暗而變化，所以等離子的整體耗電量
2009-05-24 17:59:22
介紹說(shuō)，選等離子電視最主要是看亮度、顏色和反應(yīng)速度幾項(xiàng)指標(biāo)。等離子屏幕的基本工作原理跟CRT和日光燈有些像。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，等離子屏幕是由多個(gè)放電小空間所排列而成，每一個(gè)放電小空間稱為cell，而每一個(gè)
2009-12-22 09:44:25
等離子的使用壽命是多久？ 答： 等離子電視的使用壽命大約為6
2009-05-24 18:00:55
等離子適合什么環(huán)境？ 由于先天的成像原理，等離子電視比較適合較暗的環(huán)境，那些亮麗的場(chǎng)所并不適合等離子電視使用。
2009-05-24 18:10:24
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優(yōu)勢(shì)?！癟DK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發(fā)生器成為可能。我們能夠?qū)㈦娫春万?qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)為一個(gè)非常緊湊
2022-05-17 16:41:13
分別為：等離子體、離子銑和反應(yīng)離子刻蝕。等離子刻蝕等離子體刻蝕像濕法刻蝕一樣是一種化學(xué)工藝，它使用氣體和等離子體能量來(lái)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。二氧化硅刻蝕在兩個(gè)系統(tǒng)中的比較說(shuō)明了區(qū)別所在。在濕法刻蝕二氧化硅中，氟在
2018-12-21 13:49:20
1. 低溫等離子體及廢氣處理原理低溫等離子體技術(shù)是一門涉及生物學(xué)、高能物理、放電物理、放電化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)、高壓脈沖技術(shù)和環(huán)境科學(xué)的綜合性學(xué)科，是治理氣態(tài)污染物的關(guān)鍵技術(shù)之一，因其高效、低能耗、處理
2022-04-21 20:29:20
同尺寸的等離子為什么比液晶便宜？同尺寸的等離子為什么比液晶便宜，因?yàn)?b class="flag-6" style="color: red">等離子的亮度和看電視的效果比液晶好象還要好些？ 造成這種情況的成因有
2009-05-24 18:13:16
如何去等離子顯示屏GU128×64的接口設(shè)計(jì)？等離子顯示屏有什么應(yīng)用？
2021-06-01 06:41:49
使用等離子清洗技術(shù)清洗晶圓去除晶圓表面的有機(jī)污染物等雜質(zhì)，但是同時(shí)在等離子產(chǎn)生過(guò)程中電極會(huì)出現(xiàn)金屬離子析出，如果金屬離子附著在晶圓表面也會(huì)對(duì)晶圓造成損傷，如果在使用等離子清洗技術(shù)清洗晶圓如何規(guī)避電極產(chǎn)生的金屬離子？
2021-06-08 16:45:05
各位大佬：尋找12V車載等離子電路原理圖
2021-03-30 15:38:07
超高精度。該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了前所未有的控制范圍，均勻的能量分配，以及對(duì)不斷變化的負(fù)載條件的快速適配。受益于射頻能量的令人振奮的應(yīng)用之一是等離子照明，這將成為照明市場(chǎng)的下一個(gè)發(fā)展方向，里程碑式產(chǎn)品包括標(biāo)準(zhǔn)飛利浦
2017-12-14 10:24:22
固態(tài)等離子燈由微波射頻能量供電，等離子體照明通常也稱為發(fā)光等離子體(LEP)，正快速發(fā)展成為主流技術(shù)，即將取代眾多應(yīng)用中的LED和高壓氣體放電(HID)照明，在這些應(yīng)用中，等離子照明的性能優(yōu)于傳統(tǒng)
2018-02-07 10:15:47
1.引言微波測(cè)量方法是將電磁波作為探測(cè)束入射到等離子體中，對(duì)等離子體特性進(jìn)行探測(cè)，不會(huì)對(duì)等離子體造成污染。常規(guī)微波反射計(jì)也是通過(guò)測(cè)量電磁波在等離子體截止頻率時(shí)的反射信號(hào)相位來(lái)計(jì)算等離子密度。當(dāng)等離子
2019-06-10 07:36:44
【作者】：呂鵬;劉春芳;張潮海;趙永蓬;王騏;賈興;【來(lái)源】：《強(qiáng)激光與粒子束》2010年02期【摘要】：描述了Z箍縮放電等離子體極紫外光源系統(tǒng)中的主脈沖電源,給出了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),重點(diǎn)介紹了三級(jí)磁
2010-04-22 11:41:29
的每個(gè)角落。然而面對(duì)平板電視撲面而來(lái)的大潮，我們真的做好準(zhǔn)備了嗎？對(duì)它真的夠了解嗎？時(shí)下各大媒體中對(duì)平板電視的介紹與選購(gòu)的文章不勝每舉。但觀點(diǎn)不一，這里本人也發(fā)表一下拙見(jiàn)。一、液晶、等離子和Led各有
2012-02-15 20:07:08
基于電池供電的等離子打火機(jī)。制作新奇打印方式的等離子打印機(jī)！包含相關(guān)圖文說(shuō)明、代碼、線路圖
2023-09-22 07:54:27
表面波等離子體激勵(lì)源設(shè)計(jì)，不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
怎么實(shí)現(xiàn)等離子電源的EMC設(shè)計(jì)？PCB布板時(shí)需要注意什么？
2021-04-09 06:54:43
選購(gòu)等離子電視的幾大誤區(qū)大屏幕平板電視正受到越來(lái)越多的消費(fèi)者關(guān)注與選擇，眾多消費(fèi)者認(rèn)為液晶電視比等離子更節(jié)能、壽命更長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)，似乎成為了消費(fèi)者的選擇液晶電視的主要原因。實(shí)際上選購(gòu)等離子電視有以下二大
2009-12-16 09:36:34
數(shù)控等離子切割機(jī)多少錢一臺(tái)？一臺(tái)數(shù)控等離子切割機(jī)少則3-5多萬(wàn)，多則十多萬(wàn)。武漢華宇誠(chéng)數(shù)控作為***數(shù)控等離子切割機(jī)廠家。已經(jīng)為鈑金加工、汽車制造、軌道交通、機(jī)械加工、電梯制造、精密配件等行業(yè)帶來(lái)
2022-06-22 10:33:46
等離子技術(shù)簡(jiǎn)介
2009-04-17 14:24:59
20 議程液晶/等離子電視電源系統(tǒng)簡(jiǎn)介液晶/等離子電視電源系統(tǒng)的解決方案英飛凌推薦產(chǎn)品英飛凌demoboard背光電源液晶/等離子電視電源系統(tǒng)簡(jiǎn)介液晶/等離子電視電
2010-06-13 09:07:2446 等離子技術(shù)與集成電路?? 本文介紹，改善引線接合強(qiáng)度的關(guān)鍵的等離子
2006-04-16 21:58:25728 什么是叫等離子電視(PDP)?
等離子電視(PDP)的定義：
等離子顯示屏，即Plasma Display Pan
2008-10-30 23:05:134187 什么是等離子電視機(jī)
等離子顯示屏PDP是一種利用氣體放電的顯示裝置，這種屏幕采用了等離子腔作為發(fā)光元件。大量的等離子腔排列
2008-10-30 23:13:022480 什么是等離子電視
等離子電視（PDP），是在兩張薄玻璃板之間充填混合氣體，施加電壓使之產(chǎn)生離子氣體，然后使等離子氣體放電，與基板中的熒光體發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)
2009-05-24 22:03:282387 等離子類型 pccontent> 等離子（簡(jiǎn)稱PDP）是采用近幾年來(lái)高速發(fā)展的等離子平面屏幕技術(shù)的新—代
2009-12-31 16:22:49717 大屏幕等離子彩電維修技巧
等離子彩電是用等離子屏做為顯像器件的。等離子彩電一般由兩部分組成：1.等離子屏；2.各個(gè)廠家開(kāi)發(fā)的電路及外殼。&
2010-02-09 11:53:465812 等離子電視屏幕保養(yǎng)技巧/等離子電視維護(hù)保養(yǎng)指南
隨著等離子電視的普遍降價(jià)，等離子的普及率不斷提高，同時(shí)質(zhì)量問(wèn)題也
2010-02-09 12:04:431841 什么是等離子電視？
等離子電視又稱PDP(Plasma Display Panel)電視，等離子電視是利用惰性氣體在一定電壓的作用下產(chǎn)生氣體放電
2010-02-09 12:05:271470 等離子入門知識(shí)
一、什么是等離子 等離子：隨著溫度的升高，一般物質(zhì)依次表現(xiàn)為固體、液體和氣體。它們統(tǒng)稱物質(zhì)的三態(tài)。當(dāng)
2010-02-09 12:33:111533 什么是等離子移動(dòng)車/電視吊架
等離子移動(dòng)車 等離子移動(dòng)車是方便移動(dòng)等離子電視的一個(gè)裝置，等離子移動(dòng)車分普通
2010-03-26 11:25:01977 等離子電視,等離子電視原理,等離子電視術(shù)語(yǔ)大全
等離子電視技術(shù)原理 就技術(shù)角度而言，由于PDP中發(fā)光的等離子管在平面
2010-03-27 14:48:371178 一、 什么叫等離子、等離子屏和等離子電視 1、等離子：隨著溫度的升高，一般物質(zhì)依次表現(xiàn)為固體、液體和氣體。它們統(tǒng)稱物質(zhì)的三態(tài)。當(dāng)氣體溫度進(jìn)一步升高時(shí)，其中
2010-08-26 09:25:013230 每個(gè)HBLED制造商的目標(biāo)都是花更少的錢獲得更多的光輸出。面對(duì)強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)和眾多技術(shù)障礙，至關(guān)重要的是所有的生產(chǎn)步驟的推進(jìn)都要產(chǎn)生最佳的效果。優(yōu)化的 等離子 刻蝕提供了幾種方
2011-10-31 12:10:371555 等離子電視原理，網(wǎng)絡(luò)很少的資料，了解些等離子電視原理，可以對(duì)維修有點(diǎn)幫助！
2015-12-31 15:27:100 本文介紹了等離子平板顯示（PDP）技術(shù)與工作原理，以及等離子平板顯示的特點(diǎn)和發(fā)光材料的簡(jiǎn)介。
2017-10-17 15:49:5031 本文開(kāi)始介紹了等離子電視的定義、等離子電視優(yōu)缺點(diǎn)以及它的組成，其次闡述了液晶電視的概念以及液晶電視的優(yōu)缺點(diǎn)，最后介紹了等離子電視和液晶電視的區(qū)別。
2018-03-20 14:42:1523851 本文開(kāi)始介紹了等離子電視的概念和等離子電視的工作原理，其次闡述了等離子屏顯示原理及等離子電視使用注意事項(xiàng)，最后介紹了等離子電視維修方法。
2018-03-20 15:03:1242984 本文開(kāi)始介紹了等離子電視結(jié)構(gòu)與成像原理及等離子電視的發(fā)展，其次分析了等離子電視是不是全面停產(chǎn)了，最后對(duì)等離子電視淘汰或停產(chǎn)的原因進(jìn)行了分析。
2018-03-20 15:30:4198850 
國(guó)內(nèi)的中微電子已經(jīng)研發(fā)成功5nm等離子刻蝕機(jī)，并通過(guò)了臺(tái)積電的認(rèn)證，將用于全球首條5nm工藝。
2018-12-20 08:55:2626094 下面和贏智能為大家介紹等離子拋光設(shè)備常見(jiàn)的問(wèn)題：一、設(shè)備的輪子表面比較臟，這時(shí)候需要將輪子擦潔凈。二、設(shè)備出現(xiàn)嚴(yán)峻的顫抖現(xiàn)象，需要對(duì)拋光墊調(diào)正。三、當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)限位失靈就會(huì)導(dǎo)致砂帶出現(xiàn)損壞的現(xiàn)象，當(dāng)
2019-02-18 14:11:321034 下面和贏等離子拋光機(jī)廠家為大家介紹下等離子納米拋光設(shè)備的適用行業(yè)和特點(diǎn)。一、等離子納米拋光設(shè)備適用的行業(yè)：不銹鋼制品、五金飾品、手機(jī)電子、汽車配件、航空航天、電子數(shù)碼零配件、精密模具、醫(yī)療器械精密
2019-03-11 16:00:08998 等離子體可以通過(guò)多種方式來(lái)產(chǎn)生，常見(jiàn)的方法主要包括：熱電離法/射線輻照法/光電離法/激波等離子法/激光等離子法/氣體放電法等。氣體放電是指氣體在電場(chǎng)的作用下被擊穿引起的導(dǎo)電現(xiàn)象，而低溫等離子體的產(chǎn)生方式主要是通過(guò)氣體放電來(lái)實(shí)現(xiàn)的。下面主要介紹通過(guò)氣體放電來(lái)產(chǎn)生低溫等離子體的各種方式
2019-04-22 08:00:0035 全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商泛林集團(tuán)宣布其自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)下半導(dǎo)體行業(yè)工藝流程生產(chǎn)率的新標(biāo)桿。通過(guò)與領(lǐng)先半導(dǎo)體制造商合作，泛林集團(tuán)成功實(shí)現(xiàn)了刻蝕工藝平臺(tái)全年無(wú)間斷運(yùn)行。
2019-05-15 17:49:271505 鎢極接電源負(fù)端，噴嘴接電源正端，等離子弧體產(chǎn)生在鎢極與噴嘴之間，在等離子氣體壓送下，弧柱從噴嘴中噴出，形成等離子焰。
2019-07-09 14:18:1518638 如果大家家里面的電視機(jī)是等離子電視機(jī)的話，大家有沒(méi)有遇見(jiàn)過(guò)等離子電視機(jī)的屏幕壞掉的情況呢！今天小編就為大家介紹一下等離子屏幕維修的方法，希望對(duì)大家使用等離子電視機(jī)有所幫助。
2019-11-15 09:32:024559 近日，泛林集團(tuán)發(fā)布了一項(xiàng)革新性的等離子刻蝕技術(shù)及系統(tǒng)解決方案，旨在為芯片制造商提供先進(jìn)的功能和可擴(kuò)展性，以滿足未來(lái)的創(chuàng)新需求。泛林集團(tuán)開(kāi)創(chuàng)性的Sense.i 平臺(tái)基于小巧且高精度的架構(gòu)，能提供
2020-03-10 08:44:552819 近日，泛林集團(tuán)發(fā)布了革新性的等離子刻蝕技術(shù)及系統(tǒng)解決方案Sense.i? 平臺(tái)，旨在為芯片制造商提供先進(jìn)的功能和可擴(kuò)展性，以滿足未來(lái)的創(chuàng)新需求。
2020-03-12 14:07:523417 本文首先介紹了等離子電視機(jī)常見(jiàn)故障及排查方法，其次闡述了等離子電視機(jī)的使用壽命，最后介紹了等離子電視機(jī)的保養(yǎng)方法。
2020-03-26 10:40:2226242 
本文首先分析了等離子電視是否可以投屏，其次闡述了等離子電視壞了的維修方法，最后介紹了等離子電視工作原理。
2020-03-26 10:55:1710112 本文主要闡述了等離子電視的優(yōu)缺點(diǎn)及等離子電視的結(jié)構(gòu)組成。
2020-03-26 11:06:2510279 摘要：等離子技術(shù)在印制電路板行業(yè)中主要作為處理鉆孔殘膠的一種重要手段。文章介紹了PCB等離子清洗設(shè)備的維護(hù)方法。在等離子清洗設(shè)備在使用中，會(huì)遇到除膠清洗達(dá)不到要求、設(shè)備本身故障率異常等問(wèn)題。如何保證
2020-09-24 10:52:2910855 
泛林集團(tuán)Sense.i刻蝕平臺(tái)具有Equipment Intelligence?（設(shè)備智能）功能，可以從數(shù)百個(gè)傳感器收集數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和工藝性能。
2021-01-28 16:45:181055 近日，微公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯透露，公司研發(fā)的等離子刻蝕設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入客戶的5nm生產(chǎn)線。 尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)
2021-04-11 11:27:423238 等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)(現(xiàn)代電源技術(shù)基礎(chǔ)下載)-等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)
2021-09-29 17:45:395 等離子清洗是通過(guò)使用稱為等離子體的電離氣體從物體表面去除所有有機(jī)物質(zhì)的過(guò)程。這通常在使用氧氣和/或氬氣的真空室中進(jìn)行。清潔過(guò)程是一種環(huán)境安全的過(guò)程，因?yàn)椴簧婕按碳ば曰瘜W(xué)品。等離子體通常會(huì)在被清潔的表面上留下自由基，以進(jìn)一步增加該表面的粘合性。
2021-12-22 14:35:077013 泛林集團(tuán)推三款開(kāi)創(chuàng)性的選擇性刻蝕產(chǎn)品 泛林集團(tuán)深信創(chuàng)新不僅來(lái)自于創(chuàng)新者，更需要共同合作、精確細(xì)致和努力交付才能實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新。我們助力第四次工業(yè)革命，也是世界領(lǐng)先半導(dǎo)體企業(yè)值得信賴的伙伴。 日前泛林集團(tuán)
2022-03-22 14:35:593474 由于其平行照明，WLI PL非常適合用于測(cè)量具有高深寬比的等離子切割刻蝕溝槽，因?yàn)榇蟛糠止獾竭_(dá)了刻蝕結(jié)構(gòu)的底部，因此可以測(cè)量深度。
2022-06-13 10:14:081342 反應(yīng)性離子蝕刻綜合了離子蝕刻和等離子蝕刻的效果：其具有一定的各向異性，而且未與自由基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的材料會(huì)被蝕刻。首先，蝕刻速率顯著增加。通過(guò)離子轟擊，基材分子會(huì)進(jìn)入激發(fā)態(tài)，從而更加易于發(fā)生反應(yīng)。
2022-09-19 15:17:556527 來(lái)源：泛林集團(tuán) 泛林集團(tuán)擴(kuò)大異構(gòu)半導(dǎo)體解決方案產(chǎn)品組合，用于下一代基板和面板級(jí)先進(jìn)封裝工藝 北京時(shí)間2022年11月18日——泛林集團(tuán) (Nasdaq：LRCX) 近日宣布已從Gruenwald
2022-11-21 16:43:021593 與濕式刻蝕比較，等離子體刻蝕較少使用化學(xué)試劑，因此也減少了化學(xué)藥品的成本和處理費(fèi)用。
2022-12-29 17:28:544091 刻蝕有三種:純化學(xué)刻蝕、純物理刻蝕，以及介于兩者之間的反應(yīng)式離子刻蝕（ReactiveIonEtch,RIE）。
2023-02-20 09:45:075393 等離子體最初用來(lái)刻蝕含碳物質(zhì)，例如用氧等離子體剝除光刻膠，這就是所謂的等離子體剝除或等離子體灰化。等離子體中因高速電子分解碰撞產(chǎn)生的氧原子自由基會(huì)很快與含碳物質(zhì)中的碳和氫反應(yīng)，形成易揮發(fā)的co,co2和h2o并且將含碳物質(zhì)有效地從表面移除。這個(gè)過(guò)程是在帶有刻蝕隧道的桶狀系統(tǒng)中進(jìn)行的（見(jiàn)下圖）。
2023-03-06 13:50:483083 壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓，同時(shí)也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會(huì)改變電子和離子的平均自由程(MFP),進(jìn)而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:434532 氧等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)沿石墨烯的晶面進(jìn)行刻蝕。不同的是，氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發(fā)性氣體，而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳?xì)滏I。
2022-06-21 14:32:251468 
等離子體工藝是干法清洗應(yīng)用中的重要部分，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，等離子體清洗的優(yōu)勢(shì)越來(lái)越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點(diǎn)和應(yīng)用，討論了它的清洗原理和優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù)及解決方法。
2023-10-18 17:42:363667 
眾所周知，化合物半導(dǎo)體中不同的原子比對(duì)材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對(duì)蝕刻速率和表面形態(tài)的精確控制，通過(guò)使用低至25nm的薄器件阻擋層的，從而增加了制造的復(fù)雜性。本研究對(duì)比了三氯化硼與氯氣的偏置功率，以及氣體比對(duì)等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。
2023-12-15 14:28:301243 
等離子發(fā)動(dòng)機(jī)原理： 等離子發(fā)動(dòng)機(jī)是一種利用電磁力將離子加速并噴射出來(lái)產(chǎn)生推力的發(fā)動(dòng)機(jī)。它主要包括等離子體產(chǎn)生器、離子加速器和噴嘴等組成。下面將詳細(xì)介紹等離子發(fā)動(dòng)機(jī)的工作原理。 生成等離子體：等離子
2024-02-14 18:18:008377 刻蝕氣體在等離子體中分解電離，形成離子和自由基等刻蝕類物質(zhì)，稱為Enchant → Enchant到達(dá)晶圓表面的過(guò)程。
2024-03-27 16:11:474434 
刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕各向異性較差，側(cè)壁容易產(chǎn)生橫向刻蝕造成刻蝕偏差，通常用于工藝尺寸較大的應(yīng)用，或用于干法刻蝕后清洗殘留物等。
2024-04-12 11:41:568872 
主要介紹幾種常用于工業(yè)制備的刻蝕技術(shù)，其中包括離子束刻蝕（IBE）、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）、以及后來(lái)基于高密度等離子體反應(yīng)離子的電子回旋共振等離子體刻蝕（ECR）和電感耦合等離子體刻蝕（ICP）。
2024-10-18 15:20:413338 
本文介紹了為什么干法刻蝕又叫低溫等離子體刻蝕。 什么是低溫等離子體刻蝕，除了低溫難道還有高溫嗎？等離子體的溫度？? ? 等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，并不是只有半導(dǎo)體制造或工業(yè)領(lǐng)域中才會(huì)有等離子
2024-11-16 12:53:531560 
本文簡(jiǎn)單介紹了芯片制造過(guò)程中的兩種刻蝕方法 ? 刻蝕（Etch）是芯片制造過(guò)程中相當(dāng)重要的步驟。 刻蝕主要分為干刻蝕和濕法刻蝕。 ①干法刻蝕 利用等離子體將不要的材料去除。 ②濕法刻蝕 利用腐蝕性
2024-12-06 11:13:583353 
? 本文介紹了射頻電源的功率與頻率對(duì)刻蝕結(jié)果的影響。 干法刻蝕中，射頻電源的功率與頻率對(duì)刻蝕結(jié)果都有哪些影響？ 什么是RF的功率與頻率？ RF功率（RF Power），是指射頻電源提供給等離子
2024-12-18 11:52:002975 等離子體刻蝕和濕法刻蝕是集成電路制造過(guò)程中常用的兩種刻蝕方法，雖然它們都可以用來(lái)去除晶圓表面的材料，但它們的原理、過(guò)程、優(yōu)缺點(diǎn)及適用范圍都有很大的不同。 ? ? 1. 刻蝕原理和機(jī)制的不同 濕法刻蝕
2025-01-02 14:03:561267 射頻等離子體（RF等離子體）是在氣流中通過(guò)外部施加的射頻場(chǎng)形成的。當(dāng)氣體中的原子被電離時(shí)（即電子在高能條件下與原子核分離時(shí)），就會(huì)產(chǎn)生等離子體。這種電離過(guò)程可以通過(guò)各種方法實(shí)現(xiàn)，包括熱、電和電磁
2025-01-03 09:14:322853 
刻蝕技術(shù)的詳細(xì)介紹： 1. ICP刻蝕的基本原理 ICP刻蝕通過(guò)電感耦合方式產(chǎn)生高密度等離子體，利用物理和化學(xué)作用去除襯底材料。其核心過(guò)程包括： 等離子體生成：通過(guò)射頻（RF）線圈在真空腔體內(nèi)產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)，電離氣體（如CF?、SF?、Cl?等）形成高濃度的等離子體。 活性粒子轟擊：
2025-05-06 10:33:063902 遠(yuǎn)程等離子體刻蝕技術(shù)通過(guò)非接觸式能量傳遞實(shí)現(xiàn)材料加工，其中熱輔助離子束刻蝕（TAIBE）作為前沿技術(shù)，尤其適用于碳氟化合物（FC）材料（如聚四氟乙烯PTFE）的精密處理。
2025-06-30 14:34:451133 
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