Flexfilm文章

• NIST研究院：表面粗糙度與臺階高度校準(zhǔn)規(guī)范2025-11-19 18:02

  

  在表面形貌的精密測量中，確保不同儀器與實(shí)驗(yàn)室間測量結(jié)果的一致性與可信度，始終是一項(xiàng)關(guān)鍵挑戰(zhàn)。為應(yīng)對該挑戰(zhàn)，本文檔系統(tǒng)闡述了NIST所采用的校準(zhǔn)流程、測量條件及完整的不確定度評估方法，為表面粗糙度與臺階高度的精確計(jì)量提供了技術(shù)依據(jù)與權(quán)威支撐。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料

  儀器 測量 編碼器 909瀏覽量

• 基板效應(yīng)下OLED有機(jī)薄膜的折射率梯度：光譜橢偏法的精確表征與分析2025-11-17 18:05

  

  有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）的性能優(yōu)化高度依賴對其組成材料光學(xué)常數(shù)（特別是復(fù)折射率）的精確掌握。然而，當(dāng)前研究領(lǐng)域存在顯著空白：現(xiàn)有光學(xué)數(shù)據(jù)往往局限于少數(shù)特定材料或窄光譜范圍，且缺乏系統(tǒng)性的基板影響研究。這種數(shù)據(jù)匱乏嚴(yán)重制約了研究人員在材料選擇和器件設(shè)計(jì)時(shí)做出充分知情的決策。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜

  OLED 光譜 薄膜 502瀏覽量

• 臺階儀在機(jī)翼氣動性能中的應(yīng)用：基于NASA案例的表面粗糙度精確量化2025-11-14 18:12

  

  在風(fēng)洞試驗(yàn)中，NASA接合流模型翼身接合處的流動分離現(xiàn)象是驗(yàn)證計(jì)算流體力學(xué)模型的關(guān)鍵難題。為深入研究該問題，2022年測試階段重點(diǎn)聚焦于對稱翼型機(jī)翼的邊界層轉(zhuǎn)捩特性。計(jì)算分析表明，特定波長（3-5毫米）的表面粗糙度會顯著放大橫流不穩(wěn)定性，從而影響轉(zhuǎn)捩位置與形態(tài)。然而，模型機(jī)翼的實(shí)際粗糙度狀況及其對不穩(wěn)定性的具體影響尚不明確。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)

  NASA 測量 430瀏覽量

• 橢偏光譜技術(shù)在VO?薄膜光誘導(dǎo)IMT中的應(yīng)用：瞬態(tài)介電函數(shù)的動力學(xué)路徑解析2025-11-12 18:02

  

  二氧化釩（VO?）作為一種強(qiáng)關(guān)聯(lián)電子材料，在約68°C時(shí)會發(fā)生絕緣體-金屬相變（IMT），并伴隨晶體結(jié)構(gòu)變化，這一現(xiàn)象使其在超快光子器件（如光開關(guān)和調(diào)制器）中具有巨大應(yīng)用潛力。然而，要實(shí)現(xiàn)對其光誘導(dǎo)相變的有效控制，必須深入理解其飛秒至皮秒尺度的超快動力學(xué)過程，而傳統(tǒng)探測手段難以直接獲取相變過程中材料光學(xué)性質(zhì)（如介電函數(shù)）的完整動態(tài)信息。Flexfilm全光譜

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• 臺階儀在鋁合金耐蝕性研究中的應(yīng)用：基于電流密度的MAO膜層結(jié)構(gòu)表征與性能優(yōu)化2025-11-10 18:03

  

  鋁合金因其低密度、良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性及易加工等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于汽車、航空航天等領(lǐng)域。然而，其較差的耐腐蝕性能嚴(yán)重限制了使用壽命和應(yīng)用范圍。為提升鋁合金的耐蝕性，微弧氧化（MAO）作為一種高效、環(huán)保的表面處理技術(shù)，近年來受到廣泛關(guān)注。該技術(shù)可在鋁合金表面原位生成結(jié)合力強(qiáng)、耐蝕性好的陶瓷氧化層。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的

  電流 電源 562瀏覽量

• 穆勒矩陣橢偏儀：DVRMME技術(shù)的系統(tǒng)誤差建模與校準(zhǔn)補(bǔ)償2025-11-07 18:02

  

  雙渦旋延遲器穆勒矩陣橢偏儀（DVRMME）是一種先進(jìn)的單次快照式全偏振測量技術(shù)。然而，其測量精度極易受到光學(xué)元件裝配偏差和器件缺陷引入的系統(tǒng)誤差影響。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究構(gòu)建了一個(gè)包含六個(gè)關(guān)鍵系統(tǒng)誤差參數(shù)（涉及起偏器、檢偏器及兩個(gè)渦旋延遲器的方位角與延遲量偏

  光學(xué) 測量儀器 3347瀏覽量

• 臺階儀表面輪廓測量國際標(biāo)準(zhǔn)：ISO21920與ISO4287的差異解析2025-11-05 18:02

  

  Flexfilm探針式臺階儀作為表面形貌測量的精密儀器，能夠依據(jù)最新的ISO21920系列標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量。該設(shè)備通過高精度探針掃描技術(shù)，可精確測定樣品的表面臺階高度與薄膜厚度，為材料質(zhì)量控制和生產(chǎn)工藝優(yōu)化提供可靠的數(shù)據(jù)支撐。本文將系統(tǒng)闡述ISO21920-2:2021與舊版ISO4287:1996在表面輪廓分析標(biāo)準(zhǔn)方面的主

  ISO 測量 輪廓測量 1179瀏覽量

• 面向半導(dǎo)體量測的多波長橢偏技術(shù)：基于FDM-SE實(shí)現(xiàn)埃米級精度與同步測量2025-11-03 18:04

  

  隨著半導(dǎo)體芯片制造精度進(jìn)入納米尺度，薄膜厚度的精確測量已成為保障器件性能與良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。光譜橢偏儀雖能實(shí)現(xiàn)埃米級精度的非接觸測量，但傳統(tǒng)設(shè)備依賴寬帶光源與光譜分光系統(tǒng)，存在測量效率低、系統(tǒng)復(fù)雜且易受環(huán)境干擾等問題。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究提出了一種基于頻分復(fù)用

  FDM 半導(dǎo)體 測量 379瀏覽量

• 臺階儀校準(zhǔn)：材料測具的輪廓保真度與探針幾何形態(tài)2025-10-31 18:12

  

  在工業(yè)表面紋理測量領(lǐng)域，觸針式輪廓儀仍是最常用的測量工具。為確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性，需要定期使用ISO5436-1標(biāo)準(zhǔn)定義的材料測具進(jìn)行校準(zhǔn)。這些校準(zhǔn)過程涉及探針與材料測具之間的機(jī)械接觸，在重復(fù)測量中可能引起磨損，進(jìn)而影響校準(zhǔn)結(jié)果的可靠性。Flexfilm探針式臺階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)

  材料 測量 609瀏覽量

• 橢偏儀在DRAM制造量測中的應(yīng)用：實(shí)現(xiàn)20mm×20mm超寬視場下晶圓級精準(zhǔn)監(jiān)控及提升良率2025-10-29 18:02

  

  隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸持續(xù)縮小，局部結(jié)構(gòu)變化易影響電學(xué)性能甚至導(dǎo)致失效，對高空間密度、高吞吐量的先進(jìn)計(jì)量技術(shù)需求迫切。但現(xiàn)有技術(shù)存在局限：光譜類技術(shù)（SR/SE/MMSE）需逐點(diǎn)測量，難以實(shí)現(xiàn)晶圓級快速計(jì)量；SEM分辨率高卻視場小，無法高效識別大范圍結(jié)構(gòu)變化；傳統(tǒng)成像類技術(shù)視場窄且穆勒矩陣組件利用不足。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射

  晶圓 測量 502瀏覽量