Flexfilm文章

• 臺(tái)階儀vs.白光干涉：薄膜厚度測(cè)量技術(shù)選型指南2026-03-06 18:05

  

  在半導(dǎo)體制造、光伏電池、MEMS器件以及先進(jìn)薄膜材料研發(fā)過(guò)程中，薄膜厚度與表面形貌的精確測(cè)量是質(zhì)量控制和工藝優(yōu)化的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。當(dāng)前工業(yè)與科研領(lǐng)域廣泛使用的兩種表面輪廓測(cè)量技術(shù)，分別是接觸式臺(tái)階儀和白光干涉儀。兩者在測(cè)量原理、適用材料、分辨率以及應(yīng)用場(chǎng)景方面存在顯著差異。本文將從測(cè)量原理、測(cè)量能力、適用場(chǎng)景及典型應(yīng)用等方面，對(duì)這兩種技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)對(duì)比。Flexfi

  測(cè)量 白光干涉儀 薄膜 29瀏覽量

• 橢偏儀在先進(jìn)金屬Au薄膜表征中的應(yīng)用：光學(xué)常數(shù)反演與多層結(jié)構(gòu)建模分析2026-03-04 18:10

  

  隨著柔性光電器件的快速發(fā)展，傳統(tǒng)ITO(氧化銦錫)透明導(dǎo)電薄膜因其本征脆性和波段局限性，難以滿足下一代柔性電子產(chǎn)品對(duì)短波紅外波段的應(yīng)用需求。金(Au)因其優(yōu)異的延展性和導(dǎo)電性能成為理想的替代材料。Flexfilm費(fèi)曼儀器全光譜橢偏儀可以非接觸對(duì)薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本文系統(tǒng)研究了在0.4μm~2.5μm波

  儀器 光電器件 電阻 170瀏覽量

• 臺(tái)階儀在輕質(zhì)PET@Cu復(fù)合集流體制備的應(yīng)用2026-03-02 18:03

  

  鋰離子電池的能量密度提升對(duì)其在便攜電子、電動(dòng)汽車和儲(chǔ)能系統(tǒng)的應(yīng)用至關(guān)重要。集流體作為電池中承載活性材料并傳導(dǎo)電流的部件，其質(zhì)量和導(dǎo)電性直接影響電池性能。傳統(tǒng)銅箔集流體密度大，限制了能量密度的進(jìn)一步提高。復(fù)合集流體采用“金屬-聚合物-金屬”結(jié)構(gòu)，以PET等高分子薄膜為基底，沉積薄銅層，可實(shí)現(xiàn)輕量化。Flexfilm費(fèi)曼儀器探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)

  測(cè)量 電池 鋰離子電池 77瀏覽量

• 臺(tái)階儀應(yīng)用丨電子束蒸鍍與磁控濺射鋁膜的厚度與均勻性對(duì)比研究2026-02-25 18:04

  

  鋁因其優(yōu)異的導(dǎo)電性、良好的延展性和低成本，廣泛應(yīng)用于芯片內(nèi)部的金屬互連層。電子束蒸發(fā)與磁控濺射是兩種主流的鋁膜沉積技術(shù)。以往國(guó)內(nèi)研究多認(rèn)為磁控濺射制備的鋁膜性能優(yōu)于電子束蒸發(fā)，但相關(guān)研究多采用石墨坩堝，存在熔融鋁與坩堝浸潤(rùn)、蒸鍍速率低、膜層疏松等問(wèn)題。Flexfilm費(fèi)曼儀器探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)

  儀器 濺射系統(tǒng) 電子束 74瀏覽量

• 基于橢偏光譜法研究不同基底對(duì)TiO?/SiO?薄膜光學(xué)常數(shù)的影響2026-02-13 18:01

  

  橢偏儀作為表征光學(xué)薄膜性能的核心工具，在光學(xué)薄膜領(lǐng)域具有不可替代的作用。本研究聚焦基底類型（K9玻璃、石英玻璃、單晶硅）對(duì)溶膠-凝膠法制備的TiO?和SiO?薄膜光學(xué)性能的調(diào)控機(jī)制。Flexfilm費(fèi)曼儀器作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的薄膜材料檢測(cè)解決方案提供商，致力于為全球工業(yè)智造提供精準(zhǔn)測(cè)量解決方案。其中Flexfilm全光譜橢偏儀可以精確量化薄膜的折射率、消光系數(shù)及厚

  光譜 薄膜 76瀏覽量

• 臺(tái)階儀在PET復(fù)合集流體鋁層厚度與表面形貌分析中的應(yīng)用2026-02-11 18:05

  

  隨著新能源汽車與儲(chǔ)能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，鋰離子電池對(duì)輕量化、高安全集流體的需求日益迫切。傳統(tǒng)金屬箔集流體重量大、在熱失控中風(fēng)險(xiǎn)高。復(fù)合集流體采用“金屬-高分子-金屬”三明治結(jié)構(gòu)，在減輕重量、提升安全性和能量密度方面優(yōu)勢(shì)顯著，其中PET因高拉伸強(qiáng)度、良好熱穩(wěn)定性與低成本成為研究重點(diǎn)，但其非極性表面與鋁層界面結(jié)合力弱，易在電解液浸潤(rùn)與充放電過(guò)程中發(fā)生剝離。Flexf

  PET 新能源汽車 鋰離子電池 298瀏覽量

• 光刻膠涂層如何實(shí)現(xiàn)納米級(jí)均勻性？橢偏儀的工藝控制與缺陷分析2026-02-09 18:01

  

  光刻膠（亦稱光致抗蝕劑）是集成電路制造中的關(guān)鍵材料，其純度直接決定光刻圖形的質(zhì)量與芯片良率。隨著光刻技術(shù)向極紫外（EUV，13.5?nm）工藝節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，光刻膠的膜厚均勻性、光學(xué)常數(shù)穩(wěn)定性及缺陷控制要求日益嚴(yán)格，F(xiàn)lexfilm費(fèi)曼儀器全光譜橢偏儀作為一種非接觸、高精度的光學(xué)薄膜表征工具，在光刻膠工藝段中發(fā)揮著關(guān)鍵的監(jiān)控與優(yōu)化作用，尤其與材料純化工藝相輔相成，

  光刻膠 材料 362瀏覽量

• 臺(tái)階儀在復(fù)合集流體工藝質(zhì)量中的應(yīng)用：鍍層厚度與均勻性監(jiān)控及界面結(jié)合性能表征2026-02-06 18:02

  

  鋰離子電池在新能源汽車、儲(chǔ)能系統(tǒng)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，但能量密度與安全性之間的矛盾日益突出。集流體作為電池內(nèi)部電子傳輸?shù)年P(guān)鍵載體，其性能直接影響電池整體表現(xiàn)。傳統(tǒng)電解銅箔雖導(dǎo)電性好，但存在安全性低、重量大等局限。復(fù)合銅集流體通過(guò)"金屬層-高分子支撐層-金屬層"三層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以輕量化（銅用量減少50%以上）顯著提升鋰離子電池能量密度，以縱向斷裂與橫向絕緣特性可阻斷熱

  電池 電解 鋰離子電池 838瀏覽量

• 鋰離子電池高性能負(fù)極結(jié)構(gòu)化復(fù)合集流體綜述2026-02-04 18:03

  

  鋰離子電池（LIBs）的性能極大程度依賴于其內(nèi)部電子傳導(dǎo)的骨架—集流體。傳統(tǒng)平面金屬箔集流體因界面結(jié)合弱、無(wú)法緩沖電極材料體積膨脹等固有缺陷，已成為制約電池能量密度、循環(huán)壽命及安全性的關(guān)鍵瓶頸。為此，結(jié)構(gòu)化集流體通過(guò)精心的表面與體相結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，為上述問(wèn)題提供了系統(tǒng)性解決方案。Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)

  電極 鋰離子電池 943瀏覽量

• 臺(tái)階儀在ZnO/Au復(fù)合薄膜表征中的應(yīng)用：膜厚精確測(cè)量與表面形貌分析2026-02-02 18:04

  

  為應(yīng)對(duì)食品中非法添加致癌染料羅丹明B（RhB）的檢測(cè)難題，傳統(tǒng)色譜、質(zhì)譜等方法雖準(zhǔn)確但存在操作繁瑣、成本高且難以實(shí)現(xiàn)快速現(xiàn)場(chǎng)微量檢測(cè)的局限。表面增強(qiáng)拉曼光譜（SERS）技術(shù)因具備高靈敏度與分子“指紋”識(shí)別能力，為痕量分析提供了新途徑。Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把

  測(cè)量 薄膜 353瀏覽量