Flexfilm文章

• MEMS制造中的臺階測量：原理、技術及其在工藝監(jiān)控中的關鍵作用2025-12-10 18:04

  

  隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）器件向微型化、高深寬比發(fā)展，其內部微細臺階結構的精確測量成為保障器件性能的關鍵環(huán)節(jié)。然而，現(xiàn)有測量手段面臨兩難選擇：非接觸式方法（如光學干涉、原子力顯微鏡）往往設備昂貴、操作復雜或對樣品有特定限制；而傳統(tǒng)接觸式臺階儀雖簡單可靠，但其探針測量力較大，易劃傷MEMS中常見的軟質材料（如硅片），F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀

  mems 測量 監(jiān)控 343瀏覽量

• 橢偏術精準測量超薄膜n,k值及厚度：利用光學各向異性襯底2025-12-08 18:01

  

  傳統(tǒng)橢偏測量在同時確定薄膜光學常數(shù)（復折射率n,k）與厚度d時，通常要求薄膜厚度大于10nm，這限制了其在二維材料等超薄膜體系中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本研究提出一種新方法：利用各向異性襯底打破橢偏分析中n,k,d的參數(shù)耦合。模擬結果表明，該方法可在單次測量中

  光學 測量 395瀏覽量

• 臺階儀的原理及常見問題解答2025-12-05 18:04

  

  表面特征是材料、化學等領域的重要研究內容。準確評價表面形貌與特征，對材料性能分析、工藝改進具有重要意義。臺階高度測量在表面研究中作用突出：一方面可用于分析微觀形貌，另一方面在半導體制造等工業(yè)中涉及大量臺階檢測需求。臺階高度是薄膜工藝中的關鍵參數(shù)，其精確、快速測定與控制是保障材料質量、提升生產效率的重要手段。因此，表面線條寬度、間距、臺階高度、粗糙度的測量，以

  半導體制造 材料 267瀏覽量

• 光譜橢偏術在等離子體光柵傳感中的應用：參數(shù)優(yōu)化與亞皮米級測量精度2025-12-03 18:05

  

  基于衍射的光學計量方法（如散射測量術）因精度高、速度快，已成為周期性納米結構表征的關鍵技術。在微電子與生物傳感等前沿領域，對高性能等離子體納米結構（如金屬光柵）的精確測量提出了迫切需求，然而現(xiàn)有傳統(tǒng)光學模型（如有效介質近似）往往難以準確描述其復雜的光學響應，這限制了相關器件在尺寸計量與高靈敏度傳感中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與

  光譜 測量 431瀏覽量

• 基于光學成像的沉積薄膜均勻性評價方法及其工藝控制應用2025-12-01 18:02

  

  靜電噴涂沉積（ESD）作為一種經濟高效的薄膜制備技術，因其可精確調控薄膜形貌與化學計量比而受到廣泛關注。然而，薄膜的厚度均勻性是影響其最終性能與應用可靠性的關鍵因素，其優(yōu)劣直接受到電壓、流速、針基距等多種工藝參數(shù)的復雜影響。傳統(tǒng)均勻性評估方法往往效率較低或具有破壞性，難以滿足快速工藝優(yōu)化的需求。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準表征與關鍵

  ESD 光學成像 622瀏覽量

• 光譜橢偏儀SE和紫外光譜UV在瀝青膠結料性能表征及老化評估研究2025-11-28 18:03

  

  瀝青路面是全球道路網絡的主要構成部分，但其在使用過程中會持續(xù)受到交通荷載、溫度變化、氧化老化和紫外線輻射等多種環(huán)境與機械應力的侵蝕。這些因素導致瀝青結合料逐漸硬化、開裂，嚴重損害路面的服役性能與使用壽命。然而，傳統(tǒng)上依賴流變學或經驗性指標的表征方法，往往難以捕捉到瀝青在分子和微觀尺度上的早期老化與降解過程，從而限制了對其性能衰變機制的深入理解和有效預測。Fl

  光譜 薄膜 343瀏覽量

• 臺階儀在Li?O-Al?O?-SiO?光敏微晶玻璃微結構制備中的應用2025-11-26 18:03

  

  隨著三維集成封裝（3DIC）技術的發(fā)展，傳統(tǒng)轉接板材料在高頻、高密度封裝中的性能瓶頸日益凸顯。鋰鋁硅（Li?O-Al?O?-SiO?）光敏微晶玻璃因其優(yōu)異的光敏性、高頻介電性能和可控微納加工能力，成為新一代轉接板材料的理想選擇。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準表征與關鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生

  器件 材料 280瀏覽量

• 新型橢圓偏振法SHEL在納米尺度面積表面測量的應用2025-11-24 18:02

  

  納米技術的發(fā)展催生了從超光滑表面到復雜納米結構表面的制備需求，這些表面的精確測量對質量控制至關重要。然而，當前納米尺度表面測量技術面臨顯著挑戰(zhàn)：原子力顯微鏡（AFM）測量速度慢、掃描面積有限；掃描電子顯微鏡（SEM）可能損傷樣品；白光干涉儀（WLI）則受限于橫向分辨率和參考面需求。傳統(tǒng)橢偏儀雖能通過分析偏振態(tài)變化間接表征表面，但其依賴旋轉光學元件的設計易引入

  顯微鏡 材料 測量 2636瀏覽量

• 寬波段大角度光譜橢偏技術：面向多層膜表征的光柵-傅里葉系統(tǒng)2025-11-21 18:07

  

  隨著半導體和光電子技術的快速發(fā)展，紫外至紅外波段的薄膜材料應用日益廣泛，而薄膜厚度、折射率等參數(shù)的高精度測量對器件性能至關重要。然而，現(xiàn)有光譜橢偏技術難以同時實現(xiàn)紫外至中紅外的寬波段覆蓋與大角度測量，限制了其在多種材料表征中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本研究提出了

  光譜 半導體 材料 332瀏覽量

• NIST研究院：表面粗糙度與臺階高度校準規(guī)范2025-11-19 18:02

  

  在表面形貌的精密測量中，確保不同儀器與實驗室間測量結果的一致性與可信度，始終是一項關鍵挑戰(zhàn)。為應對該挑戰(zhàn)，本文檔系統(tǒng)闡述了NIST所采用的校準流程、測量條件及完整的不確定度評估方法，為表面粗糙度與臺階高度的精確計量提供了技術依據(jù)與權威支撐。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準表征與關鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料

  儀器 測量 編碼器 908瀏覽量