CEA -Leti和英特爾今天宣布了一項(xiàng)聯(lián)合研究項(xiàng)目，旨在開(kāi)發(fā) 300 毫米晶圓上二維過(guò)渡金屬二硫化物 (2D TMD) 的層轉(zhuǎn)移技術(shù)，目標(biāo)是將摩爾定律擴(kuò)展到 2030 年以后。

二維層狀半導(dǎo)體，例如基于鉬和鎢的 TMD，有望擴(kuò)展摩爾定律并確保 MOSFET 晶體管的最終縮放，因?yàn)?2D-FET 提供了固有的亞 1nm 晶體管溝道厚度。由于其良好的載流子傳輸和移動(dòng)性，即使對(duì)于原子級(jí)薄層，它們也適用于高性能和低功耗平臺(tái)。此外，它們的器件主體厚度和適度的能帶隙導(dǎo)致增強(qiáng)的靜電控制，從而導(dǎo)致低斷態(tài)電流。

這些特性將 2D-FET 堆疊納米片器件定位為 2030 年后晶體管縮放的有前途的解決方案，這將需要高質(zhì)量的 2D 通道生長(zhǎng)、適應(yīng)性轉(zhuǎn)移和穩(wěn)健的工藝模塊。為此，這個(gè)多年期項(xiàng)目將開(kāi)發(fā)一種可行的層轉(zhuǎn)移技術(shù)，將高質(zhì)量二維材料（生長(zhǎng)在 300 毫米首選基板上）轉(zhuǎn)移到另一個(gè)用于晶體管工藝集成的器件基板。英特爾為該項(xiàng)目帶來(lái)了數(shù)十年的研發(fā)和制造專業(yè)知識(shí)，CEA-Leti 還提供了鍵合和傳輸層專業(yè)知識(shí)以及大規(guī)模表征。

英特爾技術(shù)開(kāi)發(fā)高級(jí)研究員兼英特爾歐洲研究總監(jiān) Robert Chau 表示：“隨著我們不懈地推動(dòng)摩爾定律，2D TMD 材料是一種很有前途的選擇，可以在未來(lái)擴(kuò)展晶體管的縮放極限?！?“該研究計(jì)劃的重點(diǎn)是開(kāi)發(fā)一種可行的基于 2D TMD 的 300mm 技術(shù)，用于未來(lái)的摩爾定律晶體管縮放。”

英特爾將其在半導(dǎo)體和封裝研究與技術(shù)方面的實(shí)力和專業(yè)知識(shí)與歐洲合作伙伴合作，以開(kāi)發(fā)摩爾定律創(chuàng)新并推動(dòng)歐洲的微電子技術(shù)發(fā)展。2022 年，Chau 從美國(guó)調(diào)往歐洲，領(lǐng)導(dǎo)英特爾歐洲研究院，并與歐洲大陸的合作伙伴一起推動(dòng)英特爾的研發(fā)。英特爾和 CEA-Leti 在半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、工藝和封裝技術(shù)方面有著長(zhǎng)期的密切合作。

最近，他們宣布在 2022 年 6 月使用自組裝工藝實(shí)現(xiàn)未來(lái)芯片集成的新型芯片到晶圓鍵合技術(shù)的研究取得突破。Chau 于 6 月 16 日訪問(wèn)了 CEA-Leti 的格勒諾布爾總部，以強(qiáng)調(diào)其重要性他們的合作和項(xiàng)目的啟動(dòng)，一直是兩個(gè)實(shí)體之間多年研究合作的有力支持者。

CEA-Leti 首席執(zhí)行官 Sebastien Dauvé 表示，行業(yè)路線圖表明，二維材料將集成到未來(lái)的微電子設(shè)備中，而 300 毫米晶圓的轉(zhuǎn)移能力將是這種集成的關(guān)鍵。

“由于其超過(guò) 700°C 的高生長(zhǎng)溫度和在首選基板上的高質(zhì)量生長(zhǎng)，很難堆疊 2D 材料，很難像通常的薄層一樣沉積在堆疊上。因此，轉(zhuǎn)移最有希望將它們集成到未來(lái)的設(shè)備中，而 CEA-Leti 在這方面的優(yōu)勢(shì)在于其在轉(zhuǎn)移開(kāi)發(fā)和表征方面的專業(yè)知識(shí)和技術(shù)訣竅，”Dauvé 說(shuō)。

除了二維晶體管外，CFET 晶體管也是大家關(guān)注的一個(gè)方向，imec也在其上取得了新進(jìn)展。

邁向單片 CFET 晶體管

imec 主要技術(shù)成員 Hans Mertens表示：“今天，半導(dǎo)體行業(yè)正處于從 FinFET 到 Nanosheet 的過(guò)渡期，Nanosheet 是一種器件架構(gòu)，將通過(guò)多代邏輯技術(shù)擴(kuò)展路線圖。在此過(guò)程中，我們可能會(huì)介紹 Forksheet，這是imec幾年前提出的一種先進(jìn)的納米片架構(gòu)，它減少了相鄰器件之間的間隔，與傳統(tǒng)的納米片相比，提供了縮放和性能優(yōu)勢(shì)。到本世紀(jì)末，imec預(yù)計(jì) complementary FET (CFET) 將進(jìn)入路線圖。在該器件架構(gòu)中，n- 和 pMOS 器件相互堆疊，首次從標(biāo)準(zhǔn)單元高度考慮中消除了 np 分離。當(dāng)輔以先進(jìn)的技術(shù)來(lái)接觸晶體管時(shí)，CFET允許逐漸推動(dòng)track高度從5T走向4T，有效地大幅縮小標(biāo)準(zhǔn)單元尺寸。

從工藝的角度來(lái)看，由于 nMOS-pMOS 垂直堆疊結(jié)構(gòu)，CFET 制造具有挑戰(zhàn)性，我們正處于尋路的早期階段。已經(jīng)提出了幾種 CFET，包括單片（monolithic ）和順序（sequential ）工藝流程。在順序工藝流程中，頂層器件在底層器件頂部通過(guò)晶圓鍵合轉(zhuǎn)移覆蓋半導(dǎo)體層后按順序進(jìn)行處理。相反，單片集成涉及在單個(gè)基板上構(gòu)建垂直設(shè)備架構(gòu)?！?/p>

單片 CFET：引入 CFET 的最快途徑

imec 技術(shù)人員主要成員 Anne Vandooren 表示：“在我們的邏輯計(jì)劃中，imec 及其合作伙伴專注于單片 CFET 集成，因?yàn)榕c現(xiàn)有的納米片型工藝流程相比，這種集成方案的破壞性最小。因此，它被認(rèn)為是在行業(yè)相關(guān)維度上引入 CFET 的最快途徑。盡管如此，制造這兩種器件的層的垂直堆疊推動(dòng)了對(duì)高縱橫比圖案化、材料的選擇性沉積和去除以及高質(zhì)量（epi-）膜沉積的需求。此外，還需要引入一些 CFET 專用工藝模塊，以實(shí)現(xiàn)橫截面的柵極和接觸部分的垂直隔離。

我們通過(guò)將單片 CFET 集成挑戰(zhàn)劃分為不同的子項(xiàng)目來(lái)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，并逐漸增加集成復(fù)雜性。每個(gè)子項(xiàng)目都建立在不同的測(cè)試工具上。我們首先關(guān)注單極單片 CFET，n 和 p 頂部和底部器件在不同晶圓上加工。其他測(cè)試車輛將在同一晶圓上加工單片 CMOS CFET 器件。它們的主要區(qū)別在于 CFET 器件的接觸方式，最終致力于實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的中線 (MOL) 和背面連接選項(xiàng)。對(duì)于每個(gè)test vehicles，我們探索了各種工藝和集成選項(xiàng)，權(quán)衡功率性能區(qū)域收益與復(fù)雜性。在每輛車上獲得的知識(shí)將轉(zhuǎn)移到下一輛車上?！?/p>

48nm 柵極間距的單極單片 CFET 演示

Hans Mertens：“在 VLSI 2020 上，imec 率先在 300mm 晶圓上展示了單片 CFET 器件，盡管采用的是 90nm 的‘relaxed’柵極間距（即接觸多晶硅間距 (CPP)）。在 VLSI 2023 上，imec 展示了通過(guò)單片集成以行業(yè)相關(guān)的 48nm 柵極間距構(gòu)建的單極 CFET 器件。該作品入選 2023 VLSI 技術(shù)研討會(huì)亮點(diǎn)環(huán)節(jié)。我們的功能器件分別為 n- 和 pMOS 的底部和頂部器件顯示出出色的開(kāi)關(guān)特性。我們目前正在探索以更小的柵極間距進(jìn)行單極單片 CFET 集成。

(a)底部 pFET 和 (b) 頂部 nFET (LG,PHYS=27nm)（在 VLSI 2023 上展示）的工藝結(jié)束橫截面圖像。

在此演示中，評(píng)估了底部或頂部器件的源極-漏極外延結(jié)構(gòu)（源極-漏極外延）和源極-漏極接觸。此外，為了限制縱橫比并加快開(kāi)發(fā)速度，結(jié)構(gòu)的活性部分僅限于底部的一個(gè)納米片和頂部器件的一個(gè)。然而，這項(xiàng)工作的意義在于表明，在頂層和底層之間的垂直間距僅為 30 納米的情況下，我們找到了一種獨(dú)立接觸頂層和底層設(shè)備的方法。它是在縮放維度上進(jìn)行高級(jí) CFET 集成的墊腳石。”

單片 CMOS CFET：具有挑戰(zhàn)性的工藝步驟和模塊

imec 科學(xué)總監(jiān) Steven Demuynck：“此外，我們繼續(xù)努力實(shí)現(xiàn)單片 CMOS CFET 器件演示，這是 imec 的一個(gè)戰(zhàn)略項(xiàng)目，通過(guò)與我們的合作伙伴的密切合作實(shí)現(xiàn)。與單極 CFET 器件不同，堆疊式 p 底部和 n 頂部器件現(xiàn)在將在同一晶圓上實(shí)現(xiàn)并獨(dú)立接觸。此外，集成流程應(yīng)允許區(qū)分共享公共柵極的兩個(gè)器件上的閾值電壓 (Vt) 設(shè)置——所有器件均采用行業(yè)相關(guān)的 50nm 柵極間距。這種垂直架構(gòu)具有重大意義。它不僅需要開(kāi)發(fā)三個(gè)新的、特定于 CFET 的工藝模塊，還需要調(diào)整工藝流程中的其他模塊以適應(yīng)這些特定于 CFET 的模塊的存在。

第一個(gè)特定于 CFET 的工藝模塊，我們稱為中間電介質(zhì)隔離 (MDI：middle dielectric isolation)，源于在頂部和底部柵極之間創(chuàng)建垂直電介質(zhì)隔離以區(qū)分頂部和底部器件之間的 Vt 設(shè)置的需要。為實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，我們的團(tuán)隊(duì)提出了一個(gè)從一開(kāi)始就影響工藝流程的獨(dú)特解決方案：為創(chuàng)建 CFET 的有源部分而形成的 Si/SiGe 疊層轉(zhuǎn)變?yōu)楦叩?Si/SiGe1/SiGe2 多層疊層，具有更高的SiGe2 的 Ge% 高于 SiGe1。當(dāng)犧牲 SiGe1 層被設(shè)置 Vt 的功函數(shù)金屬取代時(shí)，富含 Ge 的犧牲層被轉(zhuǎn)化為 MDI 電介質(zhì)，在柵極內(nèi)形成 np WF 金屬分離。該堆棧允許在堆棧中的 Ge 缺陷層上形成內(nèi)部間隔物——這是一個(gè)關(guān)鍵的納米片特定特征，可將柵極與源極-漏極隔離。尋找最有效的方法來(lái)共同集成底部源漏、新的 MDI 模塊和內(nèi)部墊片，在這種緊密間距和高縱橫比幾何形狀下，是我們目前研發(fā)工作的重點(diǎn)。

頂部和底部器件的源極-漏極接觸金屬之間需要第二個(gè)垂直隔離。探索了各種選項(xiàng)來(lái)構(gòu)建和隔離底部和頂部觸點(diǎn)——在兩個(gè)高柵極之間的深處——并隨后路由底部和頂部晶體管。在 VLSI 2023 上共享了一個(gè)形態(tài)學(xué)概念驗(yàn)證流程，展示了制造堆疊式 MOL 的能力。

最后，在底部器件上生長(zhǎng)源漏外延時(shí)，我們需要封裝頂部通道。這將有效地在底部和頂部器件上實(shí)現(xiàn)不同摻雜的外延生長(zhǎng)?！?/p>

從背面連接 CFET 器件

Anne Vandooren：“從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，我們正在探索先進(jìn)的集成選項(xiàng)，以從背面連接有源設(shè)備。這些發(fā)展是由進(jìn)一步降低標(biāo)準(zhǔn)單元高度和避免晶圓正面后端生產(chǎn)線中的布線擁塞的需求推動(dòng)的。

背面接觸引入了額外的工藝步驟，包括晶圓鍵合和從背面減薄基板。這些步驟挑戰(zhàn)了非常緊密的覆蓋層，以將背面層與正面已經(jīng)存在的小特征對(duì)齊。這更具挑戰(zhàn)性，因?yàn)樵阪I合過(guò)程中會(huì)發(fā)生晶圓變形，需要使用特定的光刻覆蓋校正方法。此外，還需要一個(gè)額外的工藝模塊來(lái)在背面金屬 1 和 CFET 器件的活性納米片部分之間提供適當(dāng)?shù)母綦x?！?/p>

CFET 支持：行業(yè)協(xié)作努力

Steven Demuynck：“自從我們開(kāi)始 CFET 開(kāi)發(fā)以來(lái)，我們發(fā)現(xiàn)與設(shè)備供應(yīng)商的合作強(qiáng)度有所增加。一方面，這些供應(yīng)商希望參與到開(kāi)發(fā)的早期階段，以便能夠確定他們的工具、流程和材料在該路線圖中的位置。他們還想了解這些需要運(yùn)行的環(huán)境，以了解流程中上游和下游的交互。Imec 在為這些公司提供具有 CFET 相關(guān)拓?fù)浜蛶缀涡螤畹木A方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。在 IDM 開(kāi)始開(kāi)發(fā)之前，他們通常不容易獲得此類材料。另一方面，這些合作也為 imec 帶來(lái)了好處。與我們的工具供應(yīng)商的合作有助于我們利用合作伙伴的最先進(jìn)功能。

與此同時(shí)，我們的邏輯核心合作伙伴有興趣通過(guò)評(píng)估各種流程風(fēng)格來(lái)確定我們遇到的關(guān)鍵挑戰(zhàn)和潛在障礙。在早期階段了解硬件和流程支持什么，可以讓他們?cè)陂_(kāi)始自己的研發(fā)工作時(shí)搶先一步?！?/p>

編輯：黃飛

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