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電子發(fā)燒友網>模擬技術>晶盛機電成功發(fā)布6英寸雙片式SiC碳化硅外延設備

晶盛機電成功發(fā)布6英寸雙片式SiC碳化硅外延設備

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2023-06-20 15:01:243321

中國電科48所發(fā)布最新研制的8英寸碳化硅外延設備

但是,在提升圓面積的同時,如何保證良率是目前需要解決的難題,也是目前8英寸設備面臨的挑戰(zhàn)之一。擴大尺寸是產業(yè)鏈降本增效的有效路徑之一。但在擴大尺寸的同時,還需要克服大尺寸外延生長反應源沿程損耗突出、溫流場分布不均等難題,這些困難均需要通過8英寸設備來解決。
2023-07-04 16:46:112372

碳化硅8英寸時代倒計時 中國廠商能否搭上“早班車”

碳化硅襯底是碳化硅產業(yè)鏈中成本最高、技術門檻最高的環(huán)節(jié)之一。近期,受到新能源汽車、光伏和儲能等市場的推動,碳化硅廠商紛紛投資建設8英寸圓生產線,。國內外廠商如Wolfspeed、羅姆、英飛凌、意法半導體、三星和三菱電機等都宣布參與8英寸碳化硅生產的競爭。
2023-07-14 16:22:581831

切割工藝參數對6英寸N型碳化硅晶片的影響

采用砂漿多線切割工藝加工6英寸(1英寸=25.4 mm)N型碳化硅晶體,研究了此工藝中鋼線張力、 線速度、進給速度等切割參數對晶片切割表面的影響。通過優(yōu)化切割工藝參數,最終得到高平坦度、低翹曲度、 低線痕深度的6英寸N型碳化硅晶片。
2023-08-09 11:25:314324

8英寸碳化硅襯底已實現小批量銷售

前來看,在未來一段時間內,6英寸導電型產品將作為主流尺寸,但隨著技術的進步、基于成本和下游應用領域等因素考慮,8英寸導電型碳化硅產品將是碳化硅襯底行業(yè)的發(fā)展趨勢。最終的周期將取決于技術的進度、下游市場的發(fā)展情況等多方面因素。
2023-09-12 09:27:35598

科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底下線

2023年9月,科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底成功下線。
2023-10-18 09:17:461174

三安光電8英寸碳化硅量產加速!

業(yè)內人士預測,今年將成為8英寸碳化硅器件的元年。國際功率半導體巨頭Wolfspeed和意法半導體等公司正在加速推進8英寸碳化硅技術。在國內市場方面,碳化硅設備、襯底和外延領域也有突破性進展,多家行業(yè)龍頭選擇與國際功率半導體巨頭合作。
2023-10-24 17:11:212166

環(huán)球將加快8英寸碳化硅基板產能建設

環(huán)球董事長徐秀蘭10月26日表示,她2年前錯估了客戶對8英寸碳化硅SiC)需求,現在情況超出預期,她強調環(huán)球將加快8英寸碳化硅基板產能建設,預估明年將送樣給需要8英寸基板的客戶進行認證,并于2025年量產。
2023-10-27 15:07:431115

機電:8英寸碳化硅襯底片處于下游企業(yè)驗證階段

機電指出,最近在公司舉行的每年25萬6、5為8英寸碳化硅襯底片項目合同及啟動儀式為半導體材料方向,加快關鍵核心技術攻關,國產化替代這一措施標志著機電半導體材料的技術實力和市場競爭力得到了進一步提高。
2023-11-23 11:00:161248

羅姆國富工廠將于明年生產8英寸碳化硅圓 目標增長35倍

11月上旬,羅姆株式會社社長松本功在財報電話會議上宣布,他們將在日本宮崎縣的國富工廠生產8英寸碳化硅圓,預計將于2024年開始。
2023-11-25 16:07:341866

機電:正式進入碳化硅襯底項目量產階段

機電公司決定從2017年開始,碳化硅生長設備及技術研發(fā)(r&d)開始,通過研究開發(fā)組的技術攻堅,2018年,公司成功開發(fā)了6英寸生長碳化硅決定,2020年長征及加工研發(fā)試驗生產線建立?!?/div>
2023-12-06 14:08:171447

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現,高質量的碳化硅同質外延材料是碳化硅器件研制的基礎,外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實現。
2023-12-15 09:45:535133

河南第一塊8英寸碳化硅SiC單晶出爐!

平煤神馬集團碳化硅半導體粉體驗證線傳來喜訊——實驗室成功生長出河南省第一塊8英寸碳化硅單晶,全面驗證了中宜創(chuàng)芯公司碳化硅半導體粉體在長方面的獨特優(yōu)勢。
2024-02-21 09:32:311666

碳化硅外延設備企業(yè)納設智能開啟上市輔導

證監(jiān)會近日公告顯示,深圳市納設智能裝備股份有限公司(簡稱“納設智能”)已正式開啟首次公開發(fā)行股票并上市的輔導備案程序。該公司專注于第三代半導體碳化硅SiC外延設備以及石墨烯等先進材料的研發(fā)、生產、銷售和應用推廣,是國產碳化硅外延設備的領軍企業(yè)。
2024-02-26 17:28:021941

普興電子擬建六低密缺陷碳化硅外延片產線

預計該項目投資總額3.5億元人民幣,將引進碳化硅外延設備及輔助設備共計116套。其中包括一條具備24萬片年產量的6英寸低密度缺陷碳化硅外延材料產線。
2024-02-29 16:24:011234

機電6英寸碳化硅外延設備熱銷,訂單量迅猛增長

聚焦碳化硅襯底片和碳化硅外延設備兩大業(yè)務。公司已掌握行業(yè)領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,量產晶片的核心位錯達到行業(yè)領先水平。
2024-03-22 09:39:291418

芯聯集成8英寸碳化硅工程批已順利下線

近日,芯聯集成宣布其8英寸碳化硅工程批已順利下線,這一里程碑事件標志著芯聯集成成為國內首家成功開啟8英寸碳化硅圓生產的廠家。此項技術的突破不僅體現了芯聯集成在碳化硅領域的領先實力,也展示了其對推動行業(yè)技術發(fā)展的堅定決心。
2024-05-27 10:57:491312

國產8英寸碳化硅圓邁入新紀元,芯聯集成引領行業(yè)突破

后,將形成每年6萬片6/8英寸碳化硅圓的生產能力,為我國的半導體產業(yè)注入強勁動力。來源:芯聯集成在全球半導體競爭日益激烈的背景下,碳化硅(SiC)材料因其獨特的
2024-05-30 11:24:522315

碳化硅圓和硅圓的區(qū)別是什么

以下是關于碳化硅圓和硅圓的區(qū)別的分析: 材料特性: 碳化硅SiC)是一種寬禁帶半導體材料,具有比硅(Si)更高的熱導率、電子遷移率和擊穿電場。這使得碳化硅圓在高溫、高壓和高頻應用中具有優(yōu)勢
2024-08-08 10:13:174710

萬年芯:三代半企業(yè)提速,碳化硅跑步進入8英寸時代

碳化硅圓市場。在江西萬年芯看來,這一趨勢預示著半導體行業(yè)即將迎來新一輪的技術革新和市場擴張?!?英寸”擴大產能據權威預測,到2029年SiC市場容量將達到100
2024-08-16 16:48:361306

Wolfspeed關閉6英寸碳化硅晶圓廠,德國建廠計劃延后

知名碳化硅圓和外延片制造商Wolfspeed近期宣布了一項戰(zhàn)略調整決策,決定關閉其位于美國北卡羅來納州達勒姆的6英寸碳化硅圓生產設施,以應對成本控制的緊迫需求。盡管此舉的具體員工影響尚未透露,但
2024-08-26 09:42:061044

ASM推出全新PE2O8碳化硅外延機臺

全新推出的PE2O8碳化硅外延機臺是對行業(yè)領先的ASM單晶片碳化硅外延機臺產品組合(包含適用于6英寸圓的 PE1O6 和適用于8英寸圓的 PE1O8)的進一步增強。該機臺采用獨立雙腔設計,兼容6
2024-10-17 14:21:26514

升股份研發(fā)出可視化8英寸電阻法SiC單晶爐

 10月26日,升股份憑借其在碳化硅領域的創(chuàng)新技術引起了市場關注。據“證券時報”報道,升股份已成功研發(fā)出可視化的8英寸電阻法SiC單晶爐,該設備能將碳化硅晶體的生長過程變得透明化,使得晶體良率得以提升超過20%,并已順利通過客戶端驗證。
2024-10-29 11:13:331513

天域半導體8英寸SiC圓制備與外延應用

碳化硅SiC)是制作高溫、高頻、大功率電子器件的理想電子材料之一,近20年來隨著SiC材料加工技術的不斷提升,其應用領域不斷擴大。目前SiC芯片的制備仍然以6英寸(1英寸=25.4 mm)圓為主
2024-12-07 10:39:362575

溝槽結構碳化硅外延填充方法

一、引言 溝槽結構碳化硅外延填充方法是指通過在碳化硅襯底上形成的溝槽內填充高質量的外延層,以實現器件的電學和熱學性能要求。這一過程中,不僅要保證外延層的填充率,還要避免空洞和缺陷的產生,從而確保
2024-12-30 15:11:02504

8英寸單片高溫碳化硅外延生長室結構

隨著碳化硅SiC)材料在電力電子、航空航天、新能源汽車等領域的廣泛應用,高質量、大面積的SiC外延生長技術變得尤為重要。8英寸SiC圓作為當前及未來一段時間內的主流尺寸,其外延生長室的結構設計
2024-12-31 15:04:18398

鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置

器件制造的關鍵。鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置作為一種先進的生長設備,以其獨特的結構和高效的生長性能,成為制備高質量SiC外延片的重要工具。本文將詳細介紹鐘罩式
2025-01-07 15:19:59423

機電8英寸碳化硅電阻式長爐順利通過客戶驗證

近日,機電開發(fā)的8英寸碳化硅SiC)電阻式長爐順利通過客戶驗證,設備穩(wěn)定性和工藝穩(wěn)定性均滿足客戶需求。 ? 8英寸碳化硅驗收錠 技術創(chuàng)新,引領未來 此次推出的8英寸碳化硅電阻式長
2025-01-09 11:25:33891

碳化硅外延晶片硅面貼膜后的清洗方法

引言 碳化硅SiC外延晶片因其卓越的物理和化學特性,在功率電子、高頻通信、高溫傳感等領域具有廣泛應用。在SiC外延晶片的制備過程中,硅面貼膜是一道關鍵步驟,用于保護外延層免受機械損傷和污染。然而
2025-02-07 09:55:37317

環(huán)球宣布:6英寸碳化硅襯底價格趨于穩(wěn)定

近日,環(huán)球董事長徐秀蘭表示,主流6英寸碳化硅SiC)襯底的價格已經穩(wěn)定,但市場反彈仍不確定。中國臺灣制造商正專注于開發(fā)8英寸SiC襯底,盡管2025年對SiC的市場預期仍較為保守,但2026年
2025-02-19 11:35:49946

機電6-8 英寸碳化硅襯底實現批量出貨

端快速實現市場突破,公司8英寸碳化硅外延設備和光學量測設備順利實現銷售,12英寸三軸減薄拋光機拓展至國內頭部封裝客戶,12英寸硅減壓外延生長設備實現銷售出貨并拓展了新客戶,相關設備訂單持續(xù)增長。 ? ? 6-8 英寸碳化硅襯底實現批量出
2025-02-22 15:23:221830

全球產業(yè)重構:從Wolfspeed破產到中國SiC碳化硅功率半導體崛起

從Wolfspeed破產到中國碳化硅崛起:國產SiC碳化硅功率半導體的范式突破與全球產業(yè)重構 一、Wolfspeed的隕落:技術霸權崩塌的深層邏輯 作為碳化硅SiC)領域的先驅,Wolfspeed
2025-05-21 09:49:401088

重大突破!12 英寸碳化硅圓剝離成功,打破國外壟斷!

9月8日消息,中國科學院半導體研究所旗下的科技成果轉化企業(yè),于近日在碳化硅圓加工技術領域取得了重大突破。該企業(yè)憑借自主研發(fā)的激光剝離設備成功完成了12英寸碳化硅圓的剝離操作。這一成果不僅填補
2025-09-10 09:12:481432

全球最大碳化硅工廠頭銜易主?又有新8英寸碳化硅產線投產!

,同時也涵蓋部分氮化鎵外延生產。 ? 進入2024年下半年,在過去幾年時間里全球各地投資的8英寸碳化硅產線也開始逐步落地投入使用,在英飛凌之外,近期三安半導體、安森美等也有8英寸碳化硅產線的新進展。 ? 大廠8 英寸產線陸續(xù)落地 ? 英
2024-08-12 09:10:335264

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