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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>深度解讀硅微納技術(shù)之蝕刻技術(shù)

深度解讀硅微納技術(shù)之蝕刻技術(shù)

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2022-02-14 16:14:551186

《華林科-半導(dǎo)體工藝》減薄硅片的蝕刻技術(shù)

:壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁本工作采用光刻和刻蝕技術(shù)對晶圓進(jìn)行深度刻蝕,使晶圓厚度小于20μm。 關(guān)鍵詞:IBC太陽能電池,掩模蝕刻,光刻,反應(yīng)離子蝕刻,TMAH蝕刻 介紹 太陽能顯示出供應(yīng)潛力,這個(gè)因素取決于對高效率光伏器件和降低制造成本的需求
2022-02-23 17:43:371229

堿性蝕刻中的絕對蝕刻速率

在 KOH 水溶液中進(jìn)行濕法化學(xué)蝕刻期間, (1 1 1) 的絕對蝕刻速率已通過光學(xué)干涉測量法使用掩膜樣品進(jìn)行了研究。蝕刻速率恒定為0.62 ± 0.07 μm/h 且與 60 時(shí) 1–5 M
2022-03-04 15:07:091824

三維MEMS結(jié)構(gòu)的灰階加工 光刻和深反應(yīng)離子蝕刻

摘要 微機(jī)電系統(tǒng)中任意三維結(jié)構(gòu)的加工可以用灰度光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)以及干各向異性蝕刻。 在本研究中,我們研究了深反應(yīng)離子蝕刻(DRIE)的使用和蝕刻的裁剪精密制造的選擇性。 對負(fù)載、O2階躍的引入、晶
2022-03-08 14:42:571476

使用酸性溶液對晶片進(jìn)行異常各向異性蝕刻

在本文中,我們首次報(bào)道了實(shí)現(xiàn)111和100晶片的晶體蝕刻的酸性溶液。通過使用六氟硅酸(也稱為氟硅酸)和硝酸的混合物,獲得暴露出各種面外111平面的111的晶體蝕刻。本文描述了用于該研究的溶液的化學(xué)組成,隨后是使用電子和光學(xué)顯微鏡獲得的結(jié)果。蝕刻的機(jī)理,雖然沒有完全理解,將在下面的章節(jié)中討論。
2022-03-09 14:35:421074

晶圓濕式用于蝕刻浴晶圓蝕刻

了解形成MEMS制造所需的三維結(jié)構(gòu),需要SILICON的各向異性蝕刻,此時(shí)使用的濕式蝕刻工藝考慮的事項(xiàng)包括蝕刻率、長寬比、成本、環(huán)境污染等[1]。用于各向異性濕式蝕刻。
2022-03-11 13:57:43852

微細(xì)加工濕法蝕刻中不同蝕刻方法

加工過程中有很多加工步驟。蝕刻制造過程中的一個(gè)重要步驟。術(shù)語蝕刻指的是在制造時(shí)從晶片表面去除層。這是一個(gè)非常重要的過程,每個(gè)晶片都要經(jīng)歷許多蝕刻過程。用于保護(hù)晶片免受蝕刻劑影響的材料被稱為掩模
2022-03-16 16:31:581827

如何利用原子力顯微鏡測量蝕刻速率

本文提出了一種利用原子力顯微鏡(AFM)測量蝕刻速率的簡單方法,應(yīng)用表面的天然氧化物層作為掩膜,通過無損摩擦化學(xué)去除去除部分天然氧化物,暴露地下新鮮。因此,可以實(shí)現(xiàn)在氫氧化鉀溶液中對的選擇性蝕刻,通過原子精密的AFM可以檢測到蝕刻深度,從而獲得了氫氧化鉀溶液中精確的蝕刻速率。
2022-03-18 15:39:18954

HF/H2O二元溶液中晶片變薄的蝕刻特性

質(zhì)的影響。蝕刻率由深度蝕刻隨時(shí)間的變化來確定。結(jié)果表明,隨著蝕刻時(shí)間的延長,的厚度減重增加。在高分辨率光學(xué)顯微鏡下,可以觀察到蝕刻的硅片表面的粗糙表面。XRD分析表明,蝕刻的晶體峰強(qiáng)度變?nèi)?,說明在襯底上
2022-03-18 16:43:111211

詳解單晶的各向異性蝕刻特性

為了形成膜結(jié)構(gòu),單晶硅片已經(jīng)用氫氧化鉀和氫氧化鉀-異丙醇溶液進(jìn)行了各向異性蝕刻,觀察到蝕刻速率強(qiáng)烈依賴于蝕刻劑溫度和濃度,用于蝕刻實(shí)驗(yàn)的掩模圖案在晶片的主平面上傾斜45°。根據(jù)圖案方向和蝕刻劑濃度
2022-03-25 13:26:344201

采用濕蝕刻技術(shù)制備黑

本文介紹了我們?nèi)A林科納采用氮化硅膜作為掩膜,采用濕蝕刻技術(shù)制備黑,樣品在250~1000nm波長下的吸收率接近90%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,氮化硅膜作為掩模濕蝕刻技術(shù)制備黑是可行的,比飛秒激光、RIE
2022-03-29 16:02:591360

晶片的蝕刻預(yù)處理方法包括哪些

晶片的蝕刻預(yù)處理方法包括:對角度聚合的晶片進(jìn)行最終聚合處理,對上述最終聚合的晶片進(jìn)行超聲波清洗后用去離子水沖洗,對上述清洗和沖洗的晶片進(jìn)行SC-1清洗后用去離子水沖洗,對上述清洗和沖洗的晶片進(jìn)行佛山清洗后用去離子水沖洗的步驟,對所有種類的晶片進(jìn)行蝕刻預(yù)處理,特別是P(111)。
2022-04-13 13:35:461416

臭氧輔助蝕刻技術(shù)的研究

本文章提出了一種新的半導(dǎo)體超鹵素深度分析方法,在通過臭氧氧化去除一些原子層,然后用氫氟酸蝕刻氧化物后,重復(fù)測量,然后確定了成分和表面電位的深度分布,因此這種分析技術(shù)提供了優(yōu)于0.5納米的深度分辨率
2022-04-18 16:35:05729

詳解加工過程中的蝕刻技術(shù)

加工過程中有很多加工步驟。蝕刻制造過程中的一個(gè)重要步驟。術(shù)語蝕刻指的是在制造時(shí)從晶片表面去除層。這是一個(gè)非常重要的過程,每個(gè)晶片都要經(jīng)歷許多蝕刻過程。用于保護(hù)晶片免受蝕刻劑影響的材料被稱為掩模
2022-04-20 16:11:573346

單晶的各向異性蝕刻特性說明

為了形成膜結(jié)構(gòu),單晶硅片已經(jīng)用氫氧化鉀和氫氧化鉀-異丙醇溶液進(jìn)行了各向異性蝕刻,觀察到蝕刻速率強(qiáng)烈依賴于蝕刻劑的溫度和濃度,用于蝕刻實(shí)驗(yàn)的掩模圖案在晶片的主平面上傾斜45°。根據(jù)圖案方向和蝕刻
2022-05-05 16:37:364132

一種臭氧氧化和蝕刻技術(shù)

本文章提出了一種新的半導(dǎo)體超鹵素深度分析方法,在通過臭氧氧化去除一些原子層,然后用氫氟酸蝕刻氧化物后重復(fù)測量,確定了成分和表面電位的深度分布,因此這種分析技術(shù)提供了優(yōu)于0.5納米的深度分辨率,通過
2022-05-06 15:50:39939

結(jié)構(gòu)的深且窄的各向異性蝕刻研究

在使用低溫卡盤的低壓高密度等離子體反應(yīng)器中研究了結(jié)構(gòu)的深且窄的各向異性蝕刻。我們?nèi)A林科以前已經(jīng)證明了這種技術(shù)在這種結(jié)構(gòu)上的可行性。已經(jīng)研究了蝕刻速率和輪廓的改進(jìn),并且新的結(jié)果顯示,在5 μm
2022-05-11 15:46:191455

M111N蝕刻速率,在堿性溶液中蝕刻

本文講述了我們?nèi)A林科研究了M111N蝕刻速率最小值的高度,以及決定它的蝕刻機(jī)制,在涉及掩模的情況下,M111N最小值的高度可以受到/掩模結(jié)處的成核的影響,以這種方式影響蝕刻或生長速率的結(jié)可以被
2022-05-20 17:12:591881

晶圓的處理—影成像與蝕刻

晶圓的處理—影成像與蝕刻資料分享。
2022-05-31 16:04:213

KOH蝕刻:凸角蝕刻特性研究

引用 本文介紹了我們?nèi)A林科半導(dǎo)體研究了取向在氫氧化鉀水溶液中的各向異性腐蝕特性和凸角底切機(jī)理。首先,確定控制底切的蝕刻前沿的晶面,并測量它們的蝕刻速率。然后,基于測量數(shù)據(jù),檢驗(yàn)了凸角補(bǔ)償技術(shù)
2022-06-10 17:03:482253

用于減薄硅片的蝕刻技術(shù)

高效交錯(cuò)背接觸(IBC)太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積,以提供足夠的家庭消費(fèi)能源。我們認(rèn)為,即使在20μm的厚度下,借助光捕獲方案,適當(dāng)鈍化的IBC電池也能保持20%的效率。在這項(xiàng)工作中,光刻和蝕刻技術(shù)被用于對厚度小于20μm的晶(cSi)晶片的深度蝕刻。
2022-06-28 11:20:261

高壓功率放大器在馬達(dá)技術(shù)中的應(yīng)用

馬達(dá)作為以技術(shù)為理論發(fā)展起來的新產(chǎn)物,是一種可以將外界環(huán)境中的能量例如化學(xué)能、光能、電能以及其他形式的能量轉(zhuǎn)化為自身機(jī)械能且尺寸介于納米之間的動(dòng)力機(jī)器。近年來,由于/馬達(dá)巨大的科學(xué)價(jià)值和廣泛的應(yīng)用前景,科研工作者對/馬達(dá)的研究日益增多,漸漸的成為了研究熱點(diǎn)之一。
2022-10-27 15:59:55843

基于技術(shù)的光模塊工藝

光(SiliconPhotonics)技術(shù)是指用成熟的基工藝,在基底上直接蝕刻或集成電芯片、調(diào)制器、探測器、光柵耦合器、光波導(dǎo)、合分波器、環(huán)形器等器件。
2022-12-13 11:20:261887

敏芯榮獲制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)化“技術(shù)戰(zhàn)略領(lǐng)先獎(jiǎng)”

近些年來,制造技術(shù)不斷發(fā)展和突破,在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)?;瘧?yīng)用,尤其在MEMS、光學(xué)、流體等領(lǐng)域顯示出越來越大的潛力,越來越多的企業(yè)和人才投入其中,開啟了技術(shù)產(chǎn)品化、工程化、產(chǎn)業(yè)化的歷程。
2023-01-10 10:21:331044

科技的特點(diǎn)及應(yīng)用前景

隨著科技的迅猛發(fā)展,具有微米運(yùn)動(dòng)范圍及/納米級定位精度的精密定位平臺(tái)及相關(guān)技術(shù)己被廣泛應(yīng)用于系統(tǒng)工程、生物工程、醫(yī)學(xué)工程、光學(xué)制造、航空航天等重要科學(xué)工程領(lǐng)域。但目前具有亞微米級以上
2023-01-12 11:04:453972

半導(dǎo)體完成對控制器公司的收購

芯片行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者 — 半導(dǎo)體(納斯達(dá)克股票代碼:NVTS)宣布與廣東希荻微電子股份有限公司(以下簡稱希荻)達(dá)成協(xié)議: 半導(dǎo)體以2,000萬美元等值的股票獲取希荻控股的控制器合資企業(yè)的剩余少數(shù)股權(quán)。 2021年,半導(dǎo)體與希荻成立合資
2023-02-02 16:17:44813

高速濕式各向異性蝕刻技術(shù)在批量加工中的應(yīng)用

蝕刻是微結(jié)構(gòu)制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進(jìn)一步細(xì)分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的加工和太陽能電池應(yīng)用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:122603

蝕刻技術(shù)蝕刻工藝及蝕刻產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵詞:氫能源技術(shù)材料,耐高溫耐酸堿耐濕膠帶,高分子材料,高端膠粘劑引言:蝕刻(etching)是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻(wetetching)和干蝕刻
2023-03-16 10:30:169531

【案例】高精密微米加工機(jī)床 加工技術(shù)工藝

加工技術(shù)是先進(jìn)制造的前沿技術(shù),但是受到基礎(chǔ)裝備、工藝技術(shù)、行業(yè)基礎(chǔ)等多方面影響,中國的超精密加工技術(shù)與應(yīng)用與世界先進(jìn)水平之間仍有巨大差距。為解決微型零件加工需求,速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設(shè)備KASITE-SKD系列加工中心,加工余量范圍20nm-100μm。
2023-07-18 14:11:052375

擬收購模擬芯片商昆騰67.60%股權(quán)

方式收購昆騰30名股東合計(jì)持有昆騰67.60%股權(quán)。 昆騰主要是從事模擬集成電路的研發(fā)、設(shè)計(jì)和銷售,昆騰的主要產(chǎn)品包括音頻SoC芯片和信號鏈芯片。 看中的估計(jì)是昆騰技術(shù)IP、高性能模數(shù)/數(shù)模轉(zhuǎn)換技術(shù)。 芯微電子 芯微電子
2023-08-14 17:18:502096

激光加工技術(shù)詳解

激光加工技術(shù)利用激光脈沖與材料的非線性作用,可以<100nm精度實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)方法難以實(shí)現(xiàn)的復(fù)雜功能結(jié)構(gòu)和器件的增材制造。而激光直寫(DLW)光刻是一項(xiàng)具有空間三維加工能力的加工技術(shù),在集成器件制造中發(fā)揮著重要作用。
2023-12-22 10:34:203391

適用于超小尺寸半導(dǎo)體芯片的激光加工技術(shù)有哪些?

近年來,隨著科技的不斷發(fā)展,加工技術(shù)逐漸成為半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要工具。
2024-01-23 10:43:283855

基于光譜共焦技術(shù)的PCB蝕刻檢測

(什么是蝕刻?)蝕刻是一種利用化學(xué)強(qiáng)酸腐蝕、機(jī)械拋光或電化學(xué)電解對物體表面進(jìn)行處理的技術(shù)。從傳統(tǒng)的金屬加工到高科技半導(dǎo)體制造,都在蝕刻技術(shù)的應(yīng)用范圍之內(nèi)。在印刷電路板(PCB)打樣中,蝕刻工藝一旦
2024-05-29 14:39:43642

半導(dǎo)體將亮相PCIM 2024,展示氮化鎵與碳化硅技術(shù)

在電力電子領(lǐng)域,半導(dǎo)體憑借其卓越的GaNFast?氮化鎵和GeneSiC?碳化硅功率半導(dǎo)體技術(shù),已成為行業(yè)內(nèi)的佼佼者。近日,該公司受邀參加6月11日至13日在德國紐倫堡舉行的PCIM 2024電力電子展,并在“芯球”展臺(tái)上展示其最新技術(shù)成果。
2024-05-30 14:43:081171

光電子技術(shù)校企聯(lián)合研發(fā)中心揭牌:產(chǎn)學(xué)研深度融合共促發(fā)展

7月3日上午,長沙麓邦光電科技有限公司(簡稱麓邦光電)與湖南師范大學(xué)聯(lián)合共建的光電子技術(shù)校企聯(lián)合研發(fā)中心揭牌儀式正式舉行。湖南師范大學(xué)副校長潘安練教授、麓邦光電總經(jīng)理李曉春先生出席致辭,湖南
2024-07-05 14:01:58825

玻璃電路板表面蝕刻工藝

玻璃表面蝕刻紋路由于5G時(shí)代玻璃手機(jī)后蓋流行成為趨勢,預(yù)測大部分中高端機(jī)型將采用玻璃作為手機(jī)的后蓋板。因此,基于玻璃材質(zhì)的加工工藝也就成為CMF研究中不可回避的一個(gè)技術(shù)問題。而且,由玻璃材質(zhì)
2024-07-17 14:50:012128

深度解讀 VCXO VG7050CDN:可變晶體振蕩器的卓越

深度解讀 VCXO VG7050CDN:可變晶體振蕩器的卓越
2024-07-24 10:58:071000

激光制造技術(shù)

激光制造技術(shù)是一種基于激光技術(shù)納米級制造方法,它在現(xiàn)代科技領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。本文將從激光制造技術(shù)的基本原理、應(yīng)用領(lǐng)域以及發(fā)展前景三個(gè)方面進(jìn)行介紹。 一、激光制造技術(shù)的基本原理 激光
2024-09-13 06:22:121274

半導(dǎo)體將于下月發(fā)布全新功率轉(zhuǎn)換技術(shù)

GaNFast氮化鎵功率芯片和GeneSiC碳化硅功率器件的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者——半導(dǎo)體(納斯達(dá)克股票代碼:NVTS)今日宣布于下月發(fā)布全新的功率轉(zhuǎn)換技術(shù),將觸發(fā)多個(gè)行業(yè)領(lǐng)域的顛覆性變革。該創(chuàng)新涵蓋半導(dǎo)體與系統(tǒng)級解決方案,預(yù)計(jì)將顯著提升能效與功率密度,加速氮化鎵和碳化硅技術(shù)對傳統(tǒng)基器件的替代進(jìn)程。
2025-02-21 16:41:10867

半導(dǎo)體榮獲威睿公司“優(yōu)秀技術(shù)合作獎(jiǎng)”

近日,威睿電動(dòng)汽車技術(shù)(寧波)有限公司(簡稱“威睿公司”)2024年度供應(yīng)商伙伴大會(huì)于浙江寧波順利召開。達(dá)斯(無錫)半導(dǎo)體有限公司(簡稱“半導(dǎo)體”)憑借在第三代功率半導(dǎo)體中的技術(shù)創(chuàng)新和協(xié)同成果,喜獲“優(yōu)秀技術(shù)合作獎(jiǎng)”。
2025-03-04 09:38:23970

聚焦離子束(FIB)技術(shù)加工的利器

聚焦離子束(FocusedIonBeam,FIB)技術(shù)加工領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)。它憑借高精度、高靈活性和多功能性,成為眾多加工技術(shù)中的佼佼者。通過精確控制電場和磁場,F(xiàn)IB技術(shù)能夠?qū)?/div>
2025-03-05 12:48:11895

會(huì)議邀請| Aigtek誠邀您蒞臨器件與系統(tǒng)創(chuàng)新論壇(2025)暨中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新大會(huì)!

2025年5月10日-11日,由中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)主辦,南京大學(xué)、蘇州市集成電路創(chuàng)新中心聯(lián)合承辦的第三屆器件與系統(tǒng)創(chuàng)新論壇(2025)暨中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新大會(huì)系列會(huì)議將于
2025-05-06 18:44:061269

會(huì)議回顧:Aigtek亮相2025技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新大會(huì),助力開啟未來科技大門!

會(huì)議回顧2025年5月10日-11日,由中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)主辦的第三屆器件與系統(tǒng)創(chuàng)新論壇在蘇州獅山國際會(huì)議中心順利召開。本次會(huì)議將以“凝聚優(yōu)勢力量引領(lǐng)創(chuàng)新”為主題,聚焦器件與系統(tǒng)
2025-05-15 18:31:191000

加工激光蝕刻技術(shù)的基本原理及特點(diǎn)

上回我們講到了加工激光切割技術(shù)在陶瓷電路基板的應(yīng)用,這次我們來聊聊激光蝕刻技術(shù)的前景。陶瓷電路基板(Ceramic Circuit Substrate)是一種以高性能陶瓷材料為絕緣基體,表面通過
2025-06-20 09:09:451531

漢威科技亮相2025傳感技術(shù)與檢測創(chuàng)新論壇

傳感技術(shù)是傳感器前沿發(fā)展方向。10月18日~19日,數(shù)百位國內(nèi)頂尖高校、科研院所、知名傳感器企業(yè)的學(xué)者、專家,齊聚傳感技術(shù)與檢測創(chuàng)新論壇(2025),共話傳感新未來!
2025-10-23 17:28:131124

技術(shù)賦能車載音頻國產(chǎn)化——華潤CD7377CZ/7388芯片深度解讀(深智科技專享)

科技作為華潤官方授權(quán)代理商,深度整合原廠資源與行業(yè)服務(wù)經(jīng)驗(yàn),從技術(shù)特性、場景適配、合作支撐等維度,為客戶提供全鏈路賦能解讀,助力項(xiàng)目高效落地。 一、雙芯布局:精準(zhǔn)匹配車載音頻全場景需求 車載音頻系統(tǒng)呈現(xiàn)明顯的層級化需求,從
2025-12-26 16:14:38186

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