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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>氮化硅陶瓷在氫氟酸水溶液中的水熱分解行為

氮化硅陶瓷在氫氟酸水溶液中的水熱分解行為

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中國第3代半導(dǎo)體半導(dǎo)體理想封裝材料——高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板突破“卡脖子”難題

2022年9月,威海圓環(huán)先進陶瓷股份有限公司生產(chǎn)的行業(yè)標準規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達到量產(chǎn)規(guī)模,高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板各項理化指標到了國際上行業(yè)領(lǐng)軍的質(zhì)量水平,突破了西方先進國家高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的技術(shù)保護和應(yīng)用產(chǎn)品對我國“卡脖子”難題。
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針對越來越明顯的大功率電子元器件的散熱問題,主要綜述了目前氮化硅陶瓷作為散熱基板材料的研究進展。對影響氮化硅陶瓷熱導(dǎo)率的因素、制備高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷的方法、燒結(jié)助劑的選擇、以及氮化硅陶瓷機械性能和介電性能等方面的最新研究進展作了詳細論述
2022-12-06 09:42:401770

如何提高氮化硅的實際熱導(dǎo)率實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的問題解決

綜合上述研究可發(fā)現(xiàn),雖然燒結(jié)方式不一樣,但都可以制備出性能優(yōu)異的氮化硅陶瓷。實現(xiàn)氮化硅陶瓷大規(guī)模生產(chǎn)時,需要考慮成本、操作難易程度和生產(chǎn)周期等因素,因此找到一種快速、簡便、低成本的燒結(jié)工藝是關(guān)鍵。
2022-12-06 10:30:395496

氮化硅氮化陶瓷基板究竟有何區(qū)別?

優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于電子器件封裝。 由于具有優(yōu)異的硬度、機械強度和散熱性,氮化硅陶瓷氮化陶瓷基板都可以制成用于電子封裝的陶瓷基板,同時它們也具有不同的性能和優(yōu)勢。以下就是區(qū)別。 1、散熱差異 氮化硅陶瓷基板的導(dǎo)熱
2022-12-09 17:18:242741

氮化硅提供從研發(fā)進展到量產(chǎn)的靈活性

來源:《半導(dǎo)體芯科技》雜志 12/1月刊 現(xiàn)今,氮化硅(SiN)為光子集成提供了更多的途徑,包括新的200mm、高產(chǎn)量、汽車級CMOS生產(chǎn)線。在過去的幾年里,SiN緊隨確立已久的硅光子學(xué)之后,該材料
2023-02-10 17:10:041380

氮化硅提供從研發(fā)進展到量產(chǎn)的靈活性

現(xiàn)今,氮化硅(SiN)為光子集成提供了更多的途徑,包括新的200mm、高產(chǎn)量、汽車級CMOS生產(chǎn)線。在過去的幾年里,SiN緊隨確立已久的硅光子學(xué)之后,該材料平臺已經(jīng)成熟,并在光子集成電路(PIC)市場上,為那些需要非常低傳播損耗、可見波長或高激光功率的應(yīng)用提供了新的機會。
2023-02-15 16:37:091407

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車性能優(yōu)勢

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、輕量化、充電速度、電池成本5項性能優(yōu)勢
2023-03-15 17:22:552353

高效率低能耗干法超細研磨與分散壓電陶瓷等硬質(zhì)礦物材料技術(shù)升級

氮化硅研磨環(huán)由于研磨環(huán)存在內(nèi)外氣壓差,可以密閉的真空或者很濃密的場景快速的上下運動,氮化硅磨介圈大的球磨機里不僅起到研磨粉碎的作用,更重要的是眾多的氮化硅磨介圈環(huán)會發(fā)生共振現(xiàn)象,氮化硅磨介圈
2023-03-31 11:40:351977

氮化硅陶瓷基板的市場優(yōu)勢和未來前景

氮化硅基板是一種新型的材料,具有高功率密度、高轉(zhuǎn)換效率、高溫性能和高速度等特點。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應(yīng)用前景和市場需求,正因為如此斯利通現(xiàn)正全力研發(fā)氮化硅作為基材的線路板。
2023-04-11 12:02:402778

多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究

近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級工程師趙中堅沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過添加一定比例氧化物燒結(jié)助劑,經(jīng)冷等靜壓成型和氣氛保護無壓燒結(jié)工藝燒結(jié)制備出了能充分滿足高性能導(dǎo)彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:463457

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊,國產(chǎn)新能源汽車開啟性能狂飆模式

新能源電動汽車爆發(fā)式增長的勢頭不可阻擋,氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,對提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項性能尤為重要。
2023-05-02 09:28:452666

國瓷材料:DPC陶瓷基板國產(chǎn)化突破

氮化鋁為大功率半導(dǎo)體優(yōu)選基板材料。氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、 氮化鋁(AlN)和氮化硅(Si3N4)4 種材料是已經(jīng)投入生產(chǎn)應(yīng)用的主要陶瓷基板 材料,其中氧化鋁技術(shù)成熟度最高、綜合性能好、性價比高,是功率器件最為常用 的陶瓷基板,市占率達 80%以上。
2023-05-31 15:58:352562

高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板研究現(xiàn)狀

的要求,傳統(tǒng)的陶瓷基板如AlN、Al2O3、BeO等的缺點也日益突出,如較低的理論熱導(dǎo)率和較差的力學(xué)性能等,嚴重阻礙了其發(fā)展。相比于傳統(tǒng)陶瓷基板材料,氮化硅陶瓷由于
2022-12-05 10:57:123349

陶瓷基板制備工藝研究進展

目前常用的高導(dǎo)熱陶瓷粉體原料有氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)和氧化鈹(BeO)等。隨著國家大力發(fā)展綠色環(huán)保方向,由于氧化鈹有毒性逐漸開始退出歷史的舞臺。
2023-06-27 15:03:561586

氮化硅陶瓷四大領(lǐng)域的研究及應(yīng)用進展

氮化硅陶瓷軸承球與鋼質(zhì)球相比具有突出的優(yōu)點:密度低、耐高溫、自潤滑、耐腐蝕。疲勞壽命破壞方式與鋼質(zhì)球相同。陶瓷球作為高速旋轉(zhuǎn)體產(chǎn)生離心應(yīng)力,氮化硅的低密度降低了高速旋轉(zhuǎn)體外圈上的離心應(yīng)力。
2023-07-05 10:37:064579

氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)工藝 氮化鋁和氮化硅的性能差異

氮化鋁具有較高的導(dǎo)性,比氮化硅高得多。這使得氮化高溫環(huán)境可以更有效地傳導(dǎo)熱量。
2023-07-06 15:41:232822

氮化硅是半導(dǎo)體材料嗎 氮化硅的性能及用途

氮化硅是一種半導(dǎo)體材料。氮化硅具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、機械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛應(yīng)用于高溫、高功率和高頻率電子器件。它具有較寬的能隙(大約3.2電子伏特),并可通過摻雜來調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性能,因此被視為一種重要的半導(dǎo)體材料。
2023-07-06 15:44:438296

氫氟酸晶圓的作用是什么

暴露在空氣時會形成一層氧化硅(SiO2)層。許多制程步驟,如在熱處理過程之前,需要移除這層氧化硅。氫氟酸是唯一能夠有效清洗硅片表面氧化硅的化學(xué)品。氫氟酸能夠與SiO2發(fā)生反應(yīng),生成揮發(fā)性的氟硅酸,從而清除硅片表面的氧化物層。
2023-08-02 10:40:252711

陶瓷散熱基板投資圖譜

陶瓷散熱基板的“陶瓷”,并非我們通常認知陶瓷,屬于電子陶瓷材料,主要用于陶瓷封裝殼體和陶瓷基板,主要成分包括氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)、氧化鈹(BeO)等。與傳統(tǒng)的陶瓷有個共性,主要化學(xué)成分都是硅、鋁、氧三種元素。
2023-08-23 15:07:301792

沉積氮化硅薄膜的重要制備工藝——PECVD鍍膜

PECVD作為太陽能電池生產(chǎn)中的一種工藝,對其性能的提升起著關(guān)鍵的作用。PECVD可以將氮化硅薄膜沉積在太陽能電池片的表面,從而有效提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換率。但為了清晰客觀的檢測沉積后太陽能電池片
2023-09-27 08:35:497024

汽車功率模塊AMB陶瓷基板的作用及優(yōu)勢

氮化硅(Si3N4) 基板各項性能方面表現(xiàn)最佳,可以提供最佳的可靠性和高功率密度,例如在高級電動汽車驅(qū)動逆變器的應(yīng)用。
2023-10-23 12:27:132837

國科光芯實現(xiàn)傳輸損耗-0.1dB/cm(1550 nm波長)級別氮化硅硅光芯片的量產(chǎn)

據(jù)麥姆斯咨詢報道,經(jīng)過兩年、十余次的設(shè)計和工藝迭代,國科光芯(海寧)科技股份有限公司(簡稱:國科光芯)國內(nèi)首個8英寸低損耗氮化硅硅光量產(chǎn)平臺,實現(xiàn)了傳輸損耗-0.1 dB/cm(1550 nm波長
2023-11-17 09:04:543703

京瓷利用SN氮化硅材料研發(fā)高性能FTIR光源

京瓷株式會社(以下簡稱京瓷)成功研發(fā)用于FTIR※的氮化硅(Silicon Nitride,以下簡稱SN)高性能光源。
2023-12-15 09:18:061243

氮化硅為什么能夠芯片中扮演重要的地位?

芯片制造,有一種材料扮演著至關(guān)重要的角色,那就是氮化硅(SiNx)。
2023-12-20 18:16:094879

常見的高導(dǎo)熱陶瓷材料

介紹幾種常見的高導(dǎo)熱陶瓷材料,包括聚晶金剛石陶瓷、碳化硅陶瓷、氮化硅陶瓷以及氧化鈹陶瓷,并探討它們的特性、制備工藝以及應(yīng)用領(lǐng)域。
2024-05-11 10:08:064141

如何阻止氨水溶液換熱器管板腐蝕?新型防腐技術(shù)讓設(shè)備遠離腐蝕

水溶液換熱器作為一種重要的化工設(shè)備,廣泛應(yīng)用于化工、制冷等領(lǐng)域。殼程為循環(huán)水、管程介質(zhì)為氨水溶液的工況下,列管換熱器管板腐蝕問題成為影響設(shè)備安全運行的關(guān)鍵因素。因此,研究有效的防腐技術(shù)對于延長設(shè)備壽命、保障生產(chǎn)安全具有重要意義。
2024-06-21 16:08:591323

華清電子擬在重慶建設(shè)半導(dǎo)體封裝材料和集成電路先進陶瓷生產(chǎn)基地

臨港組團投資建設(shè)半導(dǎo)體封裝材料和集成電路先進陶瓷生產(chǎn)基地,擬定總投資20億元,全面達產(chǎn)后年產(chǎn)值突破25億元。項目分三期建設(shè),產(chǎn)品以氮化鋁高純粉體、氮化鋁/氧化鋁陶瓷基板、陶瓷覆銅板、高純氮化硅粉、氮化硅陶瓷基板、陶瓷
2024-11-13 11:22:301088

氮化硅薄膜制備方法及用途

、介電常數(shù)高等優(yōu)點,集成電路制造領(lǐng)域被廣泛用作表面鈍化層、絕緣層、擴散阻擋層、刻蝕掩蔽膜等。 LPCVD?和?PECVD?制備氮化硅薄膜特性對比(下表) 低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)氮化硅工藝需要高溫,通常在?700~800°C,而等離子體增強
2024-11-24 09:33:392761

氮化硅薄膜的特性及制備方法

小、化學(xué)穩(wěn)定性好以及介電常數(shù)高等一系列優(yōu)點。本文將主要介紹了氮化硅薄膜的制備方法、特性及其半導(dǎo)體器件制造的具體應(yīng)用,重點對比低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)和等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)兩種制備工藝,并詳細解析低應(yīng)
2024-11-29 10:44:513427

國產(chǎn)替代新材料 | 先進陶瓷材料

國產(chǎn)化率約為40%。高端氮化硅陶瓷產(chǎn)品一些關(guān)鍵性能指標上與國外仍有差距,部分依賴進口,但中低端產(chǎn)品已基本實現(xiàn)國產(chǎn)化,國內(nèi)企業(yè)技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)工藝上不斷進步,逐步提
2025-01-07 08:20:463344

LPCVD氮化硅薄膜生長的機理

可以看出, SiH4提供的是Si源,N2或NH3提供的是N源。但是由于LPCVD反應(yīng)溫度較高,氫原子往往從氮化硅薄膜中去除,因此反應(yīng)物氫的含量較低。氮化硅主要由硅和氮元素組成。而PECVD反應(yīng)
2025-02-07 09:44:141234

單晶圓系統(tǒng):多晶硅與氮化硅的沉積

本文介紹了單晶圓系統(tǒng):多晶硅與氮化硅的沉積。 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,單晶圓系統(tǒng)展現(xiàn)出獨特的工藝優(yōu)勢,它具備進行多晶硅沉積的能力。這種沉積方式所帶來的顯著益處之一,便是能夠?qū)崿F(xiàn)臨場的多晶硅和鎢硅化物沉積
2025-02-11 09:19:051132

氮化硅芯片制造的核心作用

芯片制造這一復(fù)雜且精妙的領(lǐng)域中,氮化硅(SiNx)占據(jù)著極為重要的地位,絕大多數(shù)芯片的生產(chǎn)都離不開它的參與。從其構(gòu)成來看,氮化硅屬于無機化合物,由硅元素與氮元素共同組成。這種看似普通的元素組合,卻蘊含著諸多獨特的性質(zhì),芯片制造流程里發(fā)揮著不可替代的作用 。
2025-04-22 15:23:332492

spm清洗會把氮化硅去除嗎

很多行業(yè)的人都在好奇一個問題,就是spm清洗會把氮化硅去除嗎?為此,我們根據(jù)實踐與理論,給大家找到一個結(jié)果,感興趣的話可以來看看吧。 SPM清洗通常不會去除氮化硅(Si?N?),但需注意特定條件
2025-04-27 11:31:40866

通過LPCVD制備氮化硅低應(yīng)力膜

本文介紹了通過LPCVD制備氮化硅低應(yīng)力膜 氮化硅MEMS應(yīng)用十分廣泛,可作為支撐層、絕緣層、鈍化層和硬掩膜使用。SiN極耐化學(xué)腐蝕,疏水性使它可以作為MEMS壓力傳感器、MEMS流量
2025-05-09 10:07:121113

化硅薄膜和氮化硅薄膜工藝詳解

化硅薄膜和氮化硅薄膜是兩種CMOS工藝中廣泛使用的介電層薄膜。
2025-06-24 09:15:231750

氮化硅AMB陶瓷覆銅基板界面空洞率的關(guān)鍵技術(shù)與工藝探索

現(xiàn)代電子封裝領(lǐng)域,氮化硅(Si?N?) AMB陶瓷覆銅 基板憑借其卓越的熱導(dǎo)率、低熱膨脹系數(shù)以及優(yōu)異的電氣絕緣性能,逐漸成為高端電子設(shè)備的關(guān)鍵材料。然而,銅/陶瓷界面的空洞率問題卻成為了制約其產(chǎn)品
2025-07-05 18:04:002005

從氧化鋁到氮化鋁:陶瓷基板材料的變革與挑戰(zhàn)

)和氮化硅(Si3N4)。這些材料各具特色,適用于不同的應(yīng)用場景,下面由深圳金瑞欣小編講解一下它們性能的詳細對比分析。 不同陶瓷材料性能對比如下: 氧化鋁(Al2O3) ? 氧化鋁陶瓷憑借其產(chǎn)量高、成本低以及性能良好等顯著優(yōu)勢,長期以來一直是
2025-07-10 17:53:031435

氮化硅陶瓷基片在電子行業(yè)的機會

電子封裝用陶瓷基片
2025-07-11 07:56:25896

氮化硅陶瓷射頻功率器件載體:性能、對比與制造

氮化硅陶瓷憑借其獨特的物理化學(xué)性能組合,已成為現(xiàn)代射頻功率器件載體的關(guān)鍵材料。其優(yōu)異的導(dǎo)熱性、絕緣性、機械強度及熱穩(wěn)定性,為高功率、高頻率電子設(shè)備提供了可靠的解決方案。 氮化硅陶瓷載體 一、氮化硅
2025-07-12 10:17:2014193

氮化硅大功率電子器件封裝陶瓷基板

氮化硅陶瓷導(dǎo)熱基片憑借其優(yōu)異的綜合性能,電子行業(yè),尤其是高功率密度、高可靠性要求領(lǐng)域,正扮演著越來越重要的角色。
2025-07-25 17:58:54826

氮化硅陶瓷逆變器散熱基板:性能、對比與制造

氮化硅(Si?N?)陶瓷以其卓越的綜合性能,成為現(xiàn)代大功率電子器件(如IGBT/SiC模塊)散熱基板的理想候選材料。
2025-07-25 17:59:551451

氮化硅陶瓷基板:新能源汽車電力電子的散熱革新

新能源汽車快速發(fā)展的今天,電力電子系統(tǒng)的性能提升已成為行業(yè)競爭的關(guān)鍵。作為核心散熱材料的 陶瓷基板 ,其技術(shù)演進直接影響著整車的能效和可靠性。眾多陶瓷材料中,氮化硅(Si?N?)憑借其獨特的性能
2025-08-02 18:31:094290

熱壓燒結(jié)氮化硅陶瓷逆變器散熱基板

氮化硅陶瓷逆變器散熱基板還原性氣體環(huán)境(H2, CO)的應(yīng)用分析 新能源汽車、光伏發(fā)電等領(lǐng)域的功率模塊應(yīng)用,逆變器散熱基板不僅面臨高熱流密度的挑戰(zhàn),有時還需耐受如氫氣(H2)、一氧化碳(CO
2025-08-03 11:37:341290

氮化硅陶瓷封裝基片

問題,為現(xiàn)代高性能電子設(shè)備的穩(wěn)定運行提供了堅實的材料基礎(chǔ)。 ? 氮化硅陶瓷封裝基片 一、 氮化硅陶瓷基片的物理化學(xué)性能核心分析 氮化硅陶瓷基片的優(yōu)異電學(xué)性能源于其固有的材料結(jié)構(gòu)和成分控制: 極高的體積電阻率: 室溫下通
2025-08-05 07:24:00857

高抗彎強度氮化硅陶瓷晶圓搬運臂解析

熱壓燒結(jié)氮化硅陶瓷晶圓搬運臂是半導(dǎo)體潔凈室自動化的關(guān)鍵部件,其高抗彎強度范圍在600至1000兆帕,確保了高速、高精度晶圓處理過程的可靠性和耐久性。本文首先分析氮化硅陶瓷的物理化學(xué)性能,然后
2025-11-23 10:25:252122

熱壓燒結(jié)氮化硅陶瓷手指:半導(dǎo)體封裝的性能突破

半導(dǎo)體封裝作為集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),對材料性能要求極為苛刻,尤其是高溫、高應(yīng)力及精密操作環(huán)境。熱壓燒結(jié)氮化硅陶瓷手指作為一種專用工具,以其獨特的物理化學(xué)性能,芯片貼裝、引線鍵合等工藝中發(fā)
2025-12-21 08:46:471581

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